技术编号：36254631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种真空压力平衡系统及平衡工艺。背景技术.随着太阳能技术的发展，太阳能电池也逐渐被广泛使用。目前太阳能电池主要使用的是硅太阳能电池，其中电池片是太阳能电池的核心部件。电池片通常是由硅片生产而来的，在其工艺步骤中，通常会需要对硅片进行镀膜。.目前，现有的镀膜设备,一般包括镀膜用的真空箱，当装有硅片的载板被输送至真空箱中后，关闭真空箱，通过真空泵抽取真空箱内的气体，使真空箱内的气压下降至工艺所需的气压，随后对真空箱内的硅片进行镀膜。.传统工艺中，对于真空箱...
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