真空压力平衡系统及平衡工艺的制作方法

本技术涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种真空压力平衡系统及平衡工艺。

背景技术：

1、随着太阳能技术的发展，太阳能电池也逐渐被广泛使用。目前太阳能电池主要使用的是硅太阳能电池，其中电池片是太阳能电池的核心部件。电池片通常是由硅片生产而来的，在其工艺步骤中，通常会需要对硅片进行镀膜。

2、目前，现有的镀膜设备,一般包括镀膜用的真空箱，当装有硅片的载板被输送至真空箱中后，关闭真空箱，通过真空泵抽取真空箱内的气体，使真空箱内的气压下降至工艺所需的气压，随后对真空箱内的硅片进行镀膜。

3、传统工艺中，对于真空箱的抽真空都是通过设置多个真空泵同时工作来实现，但是，真空箱内气压在短时间内发生急剧变化的情况下，会导致硅片受到冲击，从而产生损坏，因此，真空箱在抽真空时，要先将真空箱内的气压下降到一个适当的值，然后再快速抽真空到工艺所需的压力，而这就使得真空箱在抽真空的过程中所耗费的时间较长。

技术实现思路

1、为了能够缩短真空箱抽真空所需的时间，本技术提供一种真空压力平衡系统及平衡工艺。

2、第一方面，本技术提供一种真空压力平衡系统，采用如下技术方案：

3、一种真空压力平衡系统，包括真空箱和一级平衡装置，所述一级平衡装置包括平衡桶和第一真空泵，所述真空箱通过第一真空管与第一真空泵相连，所述真空箱与平衡桶通过平衡管相连，所述平衡桶通过第一抽气管与第一真空管相连，所述第一抽气管与第一真空管的连接部位设有密封装置。

4、通过采用上述技术方案，第一真空泵通过第一抽气管将平衡桶内的气压抽取到工作时的气压，并通过密封装置保持在第一真空泵抽气时的气密性。随后在对真空箱进行抽真空的过程中，平衡桶通过平衡管实现与真空箱内的气压平衡，真空泵通过真空管实现对真空箱进行抽气，从而实现真空箱的抽真空过程，使得真空箱能够达到提高真空箱达到工艺所需压力的速度，从而通过气压平衡的方式缩短了真空箱抽真空的时间。

5、在一个具体的可实施方案中，还包括二级平衡装置，所述二级平衡装置包括缓冲箱和第二真空泵，所述真空箱通过缓冲管与缓冲箱相连，所述平衡桶通过第三抽气管与第二真空管相连，所述缓冲箱通过第二真空管与第二真空泵相连，所述真空箱与第二真空管通过第二抽气管相连，所述第二抽气管与第二真空管的连接部位也设有密封装置。

6、通过采用上述技术方案，第二真空泵通过第二抽气管将缓冲箱内的气压抽取到工作时的气压，并通过密封装置保持在第二真空泵抽气时的气密性。在对与平衡桶平衡后的真空箱进行抽真空的过程中，缓冲箱通过缓冲管与真空箱内的气压进行再次平衡，从而实现进一步缩短真空箱的抽真空的时间，使得真空箱在抽真空的过程中，经过平衡桶和缓冲箱的两次平衡之后，能够达到进一步提高真空箱达到工艺所需压力的速度。

7、在一个具体的可实施方案中，所述平衡管上设有第一控制阀，所述第一抽气管上设有第二控制阀，所述第三抽气管上设有第四控制阀，所述第二抽气管上设有第五控制阀，所述缓冲管上设有第六控制阀。

8、通过采用上述技术方案，通过设置第一控制阀，从而实现平衡管的通断的控制，设置第二控制阀实现第一抽气管的通断的控制，设置第四控制阀实现第三抽气管的通断的控制，设置第五控制阀实现第二抽气管的通断的控制，设置第六控制阀实现缓冲管的通断的控制。

9、在一个具体的可实施方案中，所述密封装置包括公接头和母接头，所述母接头安装在第一真空管和第二真空管上，所述公接头安装在第一抽气管和第二抽气管上，所述公接头用于插接在母接头上。

10、通过采用上述技术方案，将公接头设置在第一抽气管和第二抽气管上，将母接头设置在真空管上，以便于第一抽气管和第二抽气管通过公接头与真空管上的母接头相连，从而实现第一抽气管和第二抽气管与真空管相连。

11、在一个具体的可实施方案中，所述密封装置还包括锁定机构，所述锁定机构包括锁定块、锁定杆和复位弹片，所述公接头插接在母接头上的一端设有限位环，所述锁定块安装在母接头上，且所述锁定块用于对限位环进行限位，所述复位弹片的一端安装在母接头上，所述复位弹片的另一端与锁定块相连，所述锁定杆的一端安装在锁定块上，另一端穿过母接头的侧壁并向外延伸，所述母接头的外侧壁上还设有用于对锁定杆进行限位的限位件。

12、通过采用上述技术方案，通过锁定块对公接头上的限位环进行限位，从而保持公接头与母接头连接的紧密性。当需要拆卸公接头时，通过拉动限位环，从而使锁定块与限位环分离，从而实现公接头与母接头的分离。

13、在一个具体的可实施方案中，所述限位件包括锁定环，所述锁定环安装在锁定杆位于母接头外的一端，所述母接头的侧壁上安装有锁定钩，所述锁定钩用于对锁定环进行定位。

14、通过采用上述技术方案，当公接头安装在母接头上时，通过将锁定环与母接头上的锁定钩相连，从而对锁定环进行定位，以便于减少因误操作导致的公接头与母接头分离的情况。

15、在一个具体的可实施方案中，所述密封装置还包括密封机构，所述密封机构包括密封环、密封圈、密封块和密封弹簧，所述密封环安装在母接头与公接头相连的一端的内壁上，所述密封块安装在母接头的内壁上，所述密封圈安装在母接头的内壁上，且位于密封环与密封块之间，所述密封圈的一端与密封块的侧壁相连，另一端与密封环相连，所述密封环的侧壁上安装有密封板，且所述密封板位于密封圈与母接头的内壁之间，所述密封弹簧安装在母接头内，且所述密封弹簧的一端与密封环的侧壁相连，另一端与密封块的侧壁相连。

16、通过采用上述技术方案，当公接头插接在母接头上时，通过公接头上的限位环推动密封块沿着母接头的内壁滑动，并压缩密封弹簧，同时，通过密封板带动密封环移动，从而使得密封环带动密封圈的一端向母接头内移动，从而使密封圈与密封环相连的一端向另一端移动，从而使密封圈的中部拱起并抵触公接头的外壁，从而实现提高公接头与母接头连接部位的气密性。

17、第二方面，本技术还提供一种真空压力平衡工艺，采用如下技术方案：

18、一种真空压力平衡工艺，包括如下步骤：

19、一级平衡：将真空箱与一级平衡装置连通，使真空箱内的气压与一级平衡装置内的气压达到平衡，降低真空箱内的气压后，将真空箱与一级平衡装置断开；

20、抽真空：将真空箱抽真空，使真空箱内的压力达到工艺所需压力，随后停止对真空箱抽真空；

21、恢复一级平衡装置内的压力：将一级平衡装置内抽真空，使一级平衡装置内的压力重新恢复到初始压力，随后停止对一级平衡装置抽真空。

22、通过采用上述技术方案，利用气压低于真空箱内的气压的一级平衡装置与真空箱内的气压进行平衡，从而快速实现降低真空箱内的气压，从而缩短了气压下降的时间，然后再通过对真空箱内进行继续抽真空处理，从而使真空箱内的气压降低至工艺所需的气压，从而缩短了真空箱抽真空所需的时间。

23、在一个具体的可实施方案中，所述一级平衡步骤和抽真空步骤之间还包括二级平衡，将二级平衡装置中的缓冲箱与真空箱连通，使缓冲箱内的气压与真空箱内的气压平衡，降低真空箱内的气压，随后将缓冲箱与真空箱断开。

24、通过采用上述技术方案，当真空箱内的压力与缓冲箱内的压力接近时，通过缓冲箱内的气压与真空箱内的气压进行压力平衡，从而实现快速进一步的降低真空箱内的气压，以便于进一步提升真空箱抽真空的速度。

25、在一个具体的可实施方案中，在所述抽真空步骤之后，还包括恢复二级平衡装置中的压力，对缓冲箱内抽真空，降低缓冲箱中的压力至工作压力，随后停止对缓冲箱内抽真空。

26、通过采用上述技术方案，当需要恢复缓冲箱内的压力时，通过真空泵抽取缓冲箱内的气体，从而使得缓冲箱内的气压重新下降至其工作时的气压，以便于缓冲箱能够持续对真空箱内的气压进行平衡。

27、综上所述，本技术包括以下至少一种有益效果：

28、1.本技术通过在对真空箱进行抽真空的过程中，利用压力比真空箱内的压力低的平衡桶先对真空箱内的气压进行平衡，从而使真空箱内的气压快速下降至设定范围，然后通过真空泵将真空箱内的气压抽取至工艺所需的其他，从而缩短了真空箱抽真空所需的时间，并能够减少真空箱内的硅片因气压突然降低至工艺所需的气压时受到的冲击。

29、2.本技术通过设置缓冲箱，在真空箱内的压力下降至接近缓冲箱内的压力时，通过缓冲箱与真空箱进行压力平衡，从而进一步缩短真空箱抽真空所需的时间。

30、3.本技术通过在第一抽气管与真空管、第二抽气管与真空管相连的部位设置密封装置，方便通过密封装置保持真空管与第一抽气管、真空管与第二抽气管相连的部位的气密性。