1.一种真空压力平衡系统,其特征在于,包括真空箱(1)和一级平衡装置,所述一级平衡装置包括平衡桶(3)和第一真空泵(4),所述真空箱(1)通过第一真空管(41)与第一真空泵(4)相连,所述真空箱(1)与平衡桶(3)通过平衡管(31)相连,所述平衡桶(3)通过第一抽气管(6)与第一真空管(41)相连,所述第一抽气管(6)通过密封装置(9)与第一真空管(41)相连。
2.根据权利要求1所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:真空压力平衡系统还包括二级平衡装置,所述二级平衡装置包括缓冲箱(2)和第二真空泵(5),所述真空箱(1)通过缓冲管(22)与缓冲箱(2)相连,所述缓冲箱(2)通过第二真空管(51)与第二真空泵(5)相连,所述平衡桶(3)通过第三抽气管(8)与第二真空管(51)相连,所述真空箱(1)与第二真空管(51)通过第二抽气管(7)相连,所述第二抽气管(7)也通过密封装置(9)与第二真空管(51)相连。
3.根据权利要求2所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述平衡管(31)上设有第一控制阀(32),所述第一抽气管(6)上设有第二控制阀(61),所述第三抽气管(8)上设有第四控制阀(81),所述第二抽气管(7)上设有第五控制阀(71),所述缓冲管(22)上设有第六控制阀(23)。
4.根据权利要求2所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述密封装置(9)包括公接头(91)和母接头(92),所述母接头(92)安装在第一真空管(41)和第二真空管(51)上,所述公接头(91)安装在第一抽气管(6)和第二抽气管(7)上,所述公接头(91)用于插接在母接头(92)上。
5.根据权利要求4所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述密封装置(9)还包括锁定机构(93),所述锁定机构(93)包括锁定块(931)、锁定杆(932)和复位弹片(936),所述公接头(91)插接在母接头(92)上的一端设有限位环(935),所述锁定块(931)安装在母接头(92)上,且所述锁定块(931)用于对限位环(935)进行限位,所述复位弹片(936)的一端安装在母接头(92)上,所述复位弹片(936)的另一端与锁定块(931)相连,所述锁定杆(932)的一端安装在锁定块(931)上,另一端穿过母接头(92)的侧壁并向外延伸,所述母接头(92)的外侧壁上还设有用于对锁定杆(932)进行限位的限位件。
6.根据权利要求5所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述限位件包括锁定环(933),所述锁定环(933)安装在锁定杆(932)位于母接头(92)外的一端,所述母接头(92)的侧壁上安装有锁定钩(934),所述锁定钩(934)用于对锁定环(933)进行定位。
7.根据权利要求5所述的一种真空压力平衡系统,其特征在于:所述密封装置(9)还包括密封机构(94),所述密封机构(94)包括密封环(941)、密封圈(946)、密封块(944)和密封弹簧(943),所述密封环(941)安装在母接头(92)与公接头(91)相连的一端的内壁上,所述密封块(944)安装在母接头(92)的内壁上,所述密封圈(946)安装在母接头(92)的内壁上,且位于密封环(941)与密封块(944)之间,所述密封圈(946)的一端与密封块(944)的侧壁相连,另一端与密封环(941)相连,所述密封环(941)的侧壁上安装有密封板(942),且所述密封板(942)位于密封圈(946)与母接头(92)的内壁之间,所述密封弹簧(943)安装在母接头(92)内,且所述密封弹簧(943)的一端与密封环(941)的侧壁相连,另一端与密封块(944)的侧壁相连。
8.一种真空压力平衡工艺,基于权利要求1-7中任一项所述的一种的真空压力平衡系统,其特征在于,包括如下步骤:
9.根据权利要求8所述的一种真空压力平衡工艺,其特征在于:所述一级平衡步骤和抽真空步骤之间还包括二级平衡,将二级平衡装置中的缓冲箱(2)与真空箱(1)连通,使缓冲箱(2)内的气压与真空箱(1)内的气压平衡,降低真空箱(1)内的气压,随后将缓冲箱(2)与真空箱(1)断开。
10.根据权利要求9所述的一种真空压力平衡工艺,其特征在于:在所述抽真空步骤之后,还包括恢复二级平衡装置中的压力,对缓冲箱(2)内抽真空,降低缓冲箱(2)中的压力至工作压力,随后停止对缓冲箱(2)内抽真空。