技术编号:36262811
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种运动台的控制方法、装置、电子设备及存储介质技术领域.本申请涉及控制技术领域,具体而言,涉及一种运动台的控制方法、装置、电子设备及存储介质。背景技术.运动台广泛应用与光刻机等半导体生产设备。精密运动台在运行时,会发生飞车、碰撞等风险,严重时会造成经济损失和人员伤亡,因此必须制定合理的错误处理逻辑来保障工件台/掩模台的运行工况。发明内容.有鉴于此,本申请的目的在于提供一种运动台的控制方法、装置、电子设备及存储介质,以避免运动台运动发生异常,保证其工况质量。.第一方面,本申请提供了一种运动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。