技术编号:36271405
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及气体水洗技术领域,特别是涉及一种气体处理装置用单泵循环水装置。背景技术.有害气体水洗是一种常用的气体处理方法,主要适用于半导体生产中产生的溶剂蒸气、酸性气体、碱性气体等物质的处理。该方法将含有有害气体的废气通过喷淋塔或喷淋管强制喷淋,使其与喷淋液充分接触,然后经过沉降、过滤等一系列水处理步骤,最终达到净化废气的目的,通常采用的喷淋液包括碱式炭酸铵溶液、氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液等。.有害气体水洗也存在一些不足之处,水洗过程会产生大量废水,需要进行处理和排放;喷淋水的再生问题也是...
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