一种气体处理装置用单泵循环水装置的制作方法

本申请涉及气体水洗，特别是涉及一种气体处理装置用单泵循环水装置。

背景技术：

1、有害气体水洗是一种常用的气体处理方法，主要适用于半导体生产中产生的溶剂蒸气、酸性气体、碱性气体等物质的处理。该方法将含有有害气体的废气通过喷淋塔或喷淋管强制喷淋，使其与喷淋液充分接触，然后经过沉降、过滤等一系列水处理步骤，最终达到净化废气的目的，通常采用的喷淋液包括碱式炭酸铵溶液、氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液等。

2、有害气体水洗也存在一些不足之处，水洗过程会产生大量废水，需要进行处理和排放；喷淋水的再生问题也是需要考虑的一个关键点，如果不能有效地回收水洗液，会导致资源浪费和成本增加；如何利用水洗液进行有害气体的循环水洗作业，成了本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现思路

1、本装置提供了一种气体处理装置用单泵循环水装置，具体实施方式如下：

2、一种气体处理装置用单泵循环水装置，包括：

3、水箱，其进、出气端分别接于进气腔体和水洗喷淋管，两者内部均布设有第二喷淋管，其导水端接于导水管；

4、回水管和串接于回水管上的第一压力传感器，回水管的一端连通于导水管，回水管的另一端接于第二喷淋管的进水端，回水管用于将水箱内的清洗水打入第二喷淋管为气体进行循环水洗作业；

5、立式泵，立式泵的输出端接于导水管，用于为水箱内的水循环提供动力；

6、串接于导水管上的球阀，且球阀在导水管上的安装位置位于导水管与回水管交汇点以外处，球阀通过改变开合状态实现切换水箱的供水路线和循环水路线的目的；

7、控制器，其信号接收端电性接于第一压力传感器，其信号输出端电性接于立式泵。

8、优选的，球阀的气路端向外接于气管，且气管上串接有第一手动阀。

9、通过以上技术方案，利用第一压力传感器测量回水管的水压大小，控制器根据其水压情况调整立式泵的输出功率，进而实现了水洗过程中大量废水的循环再生利用，节约了清洗成本，同时也有效避免了资源的浪费。

10、优选的，还包括反洗进水管和串接于反洗进水管上的反洗组件，其包括串接于反洗进水管上的流量计、第二压力传感器和气动电磁阀；反洗进水管的末端穿入水洗喷淋管内并接有第一喷淋管。

11、优选的，控制器信号接收端还电性接于流量计和第二压力传感器，其信号输出端还电性接于气动电磁阀。

12、优选的，反洗组件还包括第二手动阀，第二手动阀串接于反洗进水管上。

13、通过以上技术方案，在不进行针对气体的水洗作业时，利用反洗组件将清洁水反向通入水箱内，对水箱和相关管路进行冲洗清洁，提高装置内部的清洁性和使用寿命。

14、优选的，导水管上还串接有止回阀，且止回阀设于导水管中球阀以外的位置处。

15、优选的，水洗喷淋管为串接有水雾分离器的竖管状结构，其由上到下依次布设有水雾分离器、第一喷淋管和若干个第二喷淋管。

16、优选的，进气腔体内的第二喷淋管沿竖向布设有若干个。

17、通过以上技术方案，将进气腔体和水洗喷淋管内的第二喷淋管，可以提升喷淋水与待水洗气体的接触面积，大大提升了清洁效果。

18、综上，本申请包括以下有益技术效果：

19、1.本实用新型通过在导水管上加装回水管和球阀，利用立式泵将水箱内的清洗水抽入第二喷淋管内，实现了废水的循环利用。

20、2.本实用新型通过加装反洗组件和反洗进水管，在停止有害气体导入时，通过反洗进水管导入干净的清洁水，对水箱和相关管路进行定期清洁；

21、3.本实用新型结构简单，将回水管与导水管集成于一体，利用单个立式泵即可实现供水和水循环作业。

技术特征：

1.一种气体处理装置用单泵循环水装置，包括水箱(1)，其进、出气端分别接于进气腔体(5)和水洗喷淋管(2)，两者内部均布设有第二喷淋管(8)，其导水端接于导水管(6)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，还包括反洗进水管(15)和串接于所述反洗进水管(15)上的反洗组件(7)，其包括串接于所述反洗进水管(15)上的流量计(701)、第二压力传感器(702)和气动电磁阀(704)；

3.根据权利要求2所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，所述控制器(17)信号接收端还电性接于所述流量计(701)和所述第二压力传感器(702)，其信号输出端还电性接于所述气动电磁阀(704)。

4.根据权利要求1所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，所述球阀(10)的气路端向外接于气管(12)，且所述气管(12)上串接有第一手动阀(13)。

5.根据权利要求1所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，所述导水管(6)上还串接有止回阀(11)，且所述止回阀(11)设于所述导水管(6)中所述球阀(10)以外的位置处。

6.根据权利要求2所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，所述水洗喷淋管(2)为串接有水雾分离器(14)的竖管状结构，其由上到下依次布设有所述水雾分离器(14)、所述第一喷淋管(4)和若干个所述第二喷淋管(8)。

7.根据权利要求1所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，所述进气腔体(5)内的所述第二喷淋管(8)沿竖向布设有若干个。

8.根据权利要求2所述的一种气体处理装置用单泵循环水装置，其特征在于，所述反洗组件(7)还包括第二手动阀(703)，所述第二手动阀(703)串接于所述反洗进水管(15)上。

技术总结
本申请公开了一种气体处理装置用单泵循环水装置，涉及气体水洗技术领域，包括水箱、串接于导水管上的球阀、立式泵和控制器，水箱进、出气端分别接于进气腔体和水洗喷淋管，两者内部均布设有第二喷淋管，回水管和串接于回水管上的第一压力传感器，回水管的一端连通于导水管，回水管的另一端接于第二喷淋管的进水端，本申请的技术优势是：通过在导水管上加装回水管和球阀，利用立式泵将水箱内的清洗水循环抽入水箱内，实现了废水的循环利用；通过加装反洗组件和反洗进水管，在停止有害气体导入时，通过反洗进水管导入干净的清洁水，对水箱和相关管路进行定期清洁；通过竖向排列布设的若干个第二喷淋管，提升了对有害气体的清理效果。

技术研发人员：田波雨,刘振鑫
受保护的技术使用者：气安仕先进制造科技（无锡）有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/1/15