技术编号:36329846
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及外延加工技术领域,具体为一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法。背景技术.外延的工艺过程:外延炉工艺过程包含h,tcs,hcl,bh,ph参与化学反应,产生的尾气经过水洗设备处理,将易溶于水的(tcs,hcl,bh,ph)吸收,水洗设备出来的尾气主要为不容易水的h,含量为%,通过燃烧设备燃烧处理后,经过酸排管路排放。.目前在进行外延加工工艺的过程中,燃烧设备单进入可口的处理能力为最大lpm,厚膜需要长时间lpm左右流量的h flow,h通...
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