一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法与流程

本发明涉及外延加工，具体为一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法。

背景技术：

1、外延的工艺过程：外延炉工艺过程包含h2，tcs，hcl，b2h6，ph3参与化学反应，产生的尾气经过水洗设备处理，将易溶于水的（tcs，hcl，b2h6，ph3）吸收，水洗设备出来的尾气主要为不容易水的h2，含量为99%，通过燃烧设备燃烧处理后，经过酸排管路排放。

2、目前在进行外延加工工艺的过程中，燃烧设备单进入可口的处理能力为最大150lpm,厚膜需要长时间200lpm左右流量的h2 flow，h2通过单进入口流入水洗设备与燃烧头接触面积不够，燃烧不充分，导致燃烧设备尾排h2浓度过大,接近爆炸极限，存在极大安全隐患。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法，以连接上述背景技术中提出的目前在进行外延加工工艺的过程中，燃烧设备单进入可口的处理能力为最大150lpm,厚膜需要长时间200lpm左右流量的h2 flow，h2通过单进入口流入水洗设备与燃烧头接触面积不够，燃烧不充分，导致燃烧设备尾排h2浓度过大,接近爆炸极限，存在极大安全隐患的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法，其制作的方法包括以下步骤：

3、s1、首先将外延机台中的外延炉、燃烧设备和水洗设备分别通过相应的管路进行实时连接贯通，然后可启动设备进行实时运行加工，在进行外延加工过程中，通过将外延炉产生尾气导送到水洗设备内部进行处理。s2、当水洗处理完成后，再将外延炉中厚膜产生的大流量h2 ，通过进入口均匀导送到燃烧设备内部的燃烧室进行充分燃烧，使得从水洗设备出来的厚膜产生的大流量h2能够更加均匀的流入燃烧设备的燃烧腔体，有效的减少尾气h2浓度，进而大大的规避了安全隐患。

4、优选的，所述外延机台中包括2个独立的外延炉，且每个外延炉经过各自的水洗设备进行处理。

5、优选的，所述燃烧设备的数量设置为2个，且单个水洗设备管路通过分管并联的方式连接到燃烧设备的对角。

6、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过将单水洗设备出口的大量h2，通过两个不同的分流管路，快速均匀的流入到燃烧设备内部的燃烧腔体，能够进行充分的燃烧，有效的减少了尾气h2浓度，使得设备不会接近爆炸的极限，进一步的规避了安全隐患。

技术特征：

1.一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法，其特征在于：其制作的方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法，其特征在于：所述外延机台中包括2个独立的外延炉，且每个外延炉经过各自的水洗设备进行处理。

3.根据权利要求1所述的一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法，其特征在于：所述燃烧设备的数量设置为2个，且单个水洗设备管路通过分管并联的方式连接到燃烧设备的对角。

技术总结
本发明公开了一种满足外延厚膜工艺的尾气处理管路制作方法，其制作的方法包括以下步骤：S1、首先将外延机台中的外延炉、燃烧设备和水洗设备分别通过相应的管路进行实时连接贯通，然后可启动设备进行实时运行加工，在进行外延加工过程中，通过将外延炉产生尾气导送到水洗设备内部进行处理；S2、当水洗处理完成后，通过将单个水洗设备管路分管并联的方式连接到燃烧设备的对角，再将外延炉中厚膜产生的大流量H2，通过进入口均匀导送到燃烧设备内部的燃烧室进行充分燃烧，使得从水洗设备出来的厚膜产生的大流量H2能够更加均匀的流入燃烧设备的燃烧腔体，有效的减少尾气H2浓度，进而大大的规避了安全隐患。

技术研发人员：王超,杨振域,郑岳亮,龚赛,王瀚,赵佳豪,杜金生,张沛,郝小辉,孙晨光,王彦君
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15