技术编号：36344559
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，特别涉及一种石墨盘自动化存储装置。背景技术.石墨盘能够承受高温、高压环境，同时具有优异的化学稳定性和热传导性能，因此广泛地用作半导体生产制程(例如金属有机化合物化学气相沉淀等制程)中的晶圆承载盘。.其中，为保障生产的可靠性，使用过的石墨盘需要通过高温烘烤，以除掉残留在石墨盘表面的有机金属化合物等残留杂质，而烘烤时间较长，为保证机台(例如用于发光二极管生产的金属有机化合物化学气相沉淀设备(movcd设备))的正常生产，单个机台需配置多块石墨盘轮流使用，...
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