一种石墨盘自动化存储装置的制作方法

本技术涉及半导体制造设备，特别涉及一种石墨盘自动化存储装置。

背景技术：

1、石墨盘能够承受高温、高压环境，同时具有优异的化学稳定性和热传导性能，因此广泛地用作半导体生产制程(例如金属有机化合物化学气相沉淀等制程)中的晶圆承载盘。

2、其中，为保障生产的可靠性，使用过的石墨盘需要通过高温烘烤，以除掉残留在石墨盘表面的有机金属化合物等残留杂质，而烘烤时间较长，为保证机台(例如用于发光二极管生产的金属有机化合物化学气相沉淀设备(movcd设备))的正常生产，单个机台需配置多块石墨盘轮流使用，考虑到机台的工作周期与石墨盘的烘烤周期的差异，已烘烤的石墨盘一般先批量存储至存储柜，在机台有生产需求时，再从储存柜取出送至机台端使用。

3、在现有技术中，石墨盘的存入和取出通过人工搬运，工作强度大(单片石墨盘的质量可达到16千克，直径可达到785毫米)，转运效率低，且存在易磕碰损伤、存储位置错位、搬运过程中掉落等风险。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型的目的是提供一种石墨盘自动化存储装置，以实现石墨盘的自动存取，提高石墨盘的存取效率。

2、本实用新型一方面提供一种石墨盘自动化存储装置，包括：

3、呈环形布置的储位区，所述储位区中设置有多个沿所述储位区的周向布置的石墨盘储存位；

4、进料区和出料区，穿插设置于所述石墨盘储存位之间；

5、中转区，设置于所述储位区的环形包围空间内，与所述进料区对位匹配，且设置有一水平承载平台；

6、其中，所述进料区设置有第一停车位和第一机械手臂；

7、所述储位区的环形包围空间内还设置有第二机械手臂，所述第二机械手臂和所述第一机械手臂均连接至工控机；

8、所述出料区设置有龙门架，所述龙门架内设置有夹盘平台，所述夹盘平台由内至外依次设置有放料盘和出料位，所述出料位对应设置有第二停车位。

9、可选地，所述石墨盘储存位为立式结构，包括垂直间隔设置的多个水平承载位。

10、可选地，所述储位区的布置环形为方形环；

11、所述储位区的环形包围空间内还设置有地轨，所述地轨与所述方形环的长边平行，且居中设置于所述环形包围空间内；

12、所述第二机械手臂与所述地轨活动连接，以可沿所述地轨往复移动。

13、可选地，所述进料区和所述出料区设置于所述方形环的长边侧，且设置于同一侧。

14、可选地，所述中转区设置于所述方形环的长边侧的中部对应位置。

15、可选地，所述取料区设置有两个，且分别设置于所述进料区的两侧。

16、可选地，所述第二机械手臂至少设置有两个。

17、可选地，所述夹盘平台还设置有核对位，所述核对位设置于所述放料盘与所述出料位之间，所述核对位的上方还设置有石墨盘信息识别相机，所述石墨盘信息识别相机与所述夹盘平台的驱动器和所述工控机连接。

18、可选地，所述第一停车位和所述第二停车位还设置有与自动导向搬运车对应的光电开关。

19、可选地，所述第一机械手臂和所述第二机械手臂上还均设置有3d视觉识别相机，且均连接至所述工控机。

20、本实用新型提供的石墨盘自动存储装置设置有呈环形布置的储位区，沿储位区的周向布置有多个石墨盘储存位，在石墨盘储存位之间穿插设置有进料区和出料区，中转区设置于储位区的环形包围空间内，并与进料区对位匹配，且设置有一水平承载平台；其中，所述进料区设置有第一停车位和第一机械手臂，可通过第一机械手臂，将停靠于第一停车位中的进料搬运车携带的石墨盘，转运至中转区；所述储位区的环形包围空间内还设置有第二机械手臂，所述第二机械手臂和所述第一机械手臂均连接至工控机，可通过第二机械手臂将中转区的石墨盘转运存储至石墨盘储存位；所述出料区设置有龙门架，所述龙门架内设置有夹盘平台，所述夹盘平台由内至外依次设置有放料盘和出料位，所述出料位对应设置有第二停车位，可通过第二机械手臂将石墨盘储存位中的石墨盘转运至放料盘，再通过龙门架的夹盘平台将放料盘中石墨盘转运至出料位，实现出料的自动搬运，整体上实现了石墨盘的自动存取，降低了人工工作量，提高了生产效率。且机械搬运，可降低人为因素引起的磕碰损伤、位置错位、搬运过程中掉落的风险，提高搬运存储的可靠性，降低石墨盘损伤风险。

技术特征：

1.一种石墨盘自动化存储装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述石墨盘储存位为立式结构，包括垂直间隔设置的多个水平承载位。

3.根据权利要求1所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述进料区和所述出料区设置于所述方形环的长边侧，且设置于同一侧。

5.根据权利要求4所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述中转区设置于所述方形环的长边侧的中部对应位置。

6.根据权利要求4所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述取料区设置有两个，且分别设置于所述进料区的两侧。

7.根据权利要求1或6所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述第二机械手臂至少设置有两个。

8.根据权利要求1所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述夹盘平台还设置有核对位，所述核对位设置于所述放料盘与所述出料位之间，所述核对位的上方还设置有石墨盘信息识别相机，所述石墨盘信息识别相机与所述夹盘平台的驱动器和所述工控机连接。

9.根据权利要求1所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述第一停车位和所述第二停车位还设置有与自动导向搬运车对应的光电开关。

10.根据权利要求1所述的石墨盘自动化存储装置，其特征在于，所述第一机械手臂和所述第二机械手臂上还均设置有3d视觉识别相机，且均连接至所述工控机。

技术总结
本技术提供一种石墨盘自动存储装置，其储位区，在储位区中设置有多个石墨盘储存位和穿插其中的有进料区和出料区，进料区位置设置有中转区；其中，进料区设置有第一停车位和第一机械手臂；储位区的环形包围空间内还设置有第二机械手臂；出料区设置有龙门架，龙门架内设置有夹盘平台，夹盘平台由内至外依次设置有放料盘和出料位。本技术提供的石墨盘自动存储装置可通过第一机械手臂和第二机械手臂实现进料石墨盘的自动储存，通过第二机械手臂和龙门架实现储存的石墨盘的自动出料，整体上实现了石墨盘的自动存取，降低了人工工作量，提高了生产效率。

技术研发人员：彭小员,唐立勇,宋伟,陈铭胜,文国昇,金从龙
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：20230620
技术公布日：2024/1/15