一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具的制作方法技术资料下载

技术编号:36362445

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.本实用新型涉及钕铁硼磁体技术领域,具体为一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具。背景技术.现有的钕铁硼磁体是由钕、铁、硼形成的四方晶系晶体,被广泛地应用于电子产品,而钕铁硼磁体在生产的过程中需要对其表面进行物理气相沉积,传统工艺在磁体表面物理气相沉积过程中大都采用夹具对钕铁硼磁体进行夹持固定后,再进行磁控溅射以及真空蒸镀,一般使用的夹具只能够起到固定的作用,从而导致钕铁硼磁体各个面的涂覆不是很均匀,从而会影响到钕铁硼磁体的使用。实用新型内容.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种钕铁硼磁...
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