一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具的制作方法

本技术涉及钕铁硼磁体，具体为一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具。

背景技术：

1、现有的钕铁硼磁体是由钕、铁、硼形成的四方晶系晶体，被广泛地应用于电子产品，而钕铁硼磁体在生产的过程中需要对其表面进行物理气相沉积，传统工艺在磁体表面物理气相沉积过程中大都采用夹具对钕铁硼磁体进行夹持固定后，再进行磁控溅射以及真空蒸镀，一般使用的夹具只能够起到固定的作用，从而导致钕铁硼磁体各个面的涂覆不是很均匀，从而会影响到钕铁硼磁体的使用。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，解决了现有的钕铁硼磁体是在物理气相沉积的过程中，夹具只能够起到夹持固定的作用，从而导致钕铁硼磁体在进行涂覆的过程中，各个面的涂覆不是很均匀，从而影响到钕铁硼磁体的使用的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，包括真空室和固定连接在真空室内壁的支撑杆，所述支撑杆的外表面两侧均滑动连接有驱动板，且两个所述驱动板的一侧均与所述真空室的内壁滑动连接，两个所述驱动板的一侧均固定连接有液压杆，且两个所述液压杆的一端均贯穿至真空室的外部，两个所述驱动板的内表面均转动连接有驱动轴，所述驱动轴的一端设有对钕铁硼磁体进行固定的夹持机构，所述驱动轴的一端外表面设有带动夹持机构转动的驱动机构。

3、优选的，所述夹持机构包括固定连接在所述驱动轴一端的固定块，所述固定块的内壁转动连接有双向螺杆，且所述双向螺杆的一端贯穿至固定块的顶端，并固定连接有控制块。

4、优选的，所述双向螺杆的外表面转动连接有限位板，且所述限位板的外表面与所述固定块的内表面固定连接，所述双向螺杆的外表面两端均螺纹连接夹持块，且两个所述夹持块的一端均贯穿至所述固定块的一侧。

5、优选的，所述驱动机构包括固定连接在所述驱动轴外表面的第一皮带轮，所述第一皮带轮的外表面传动连接有皮带，所述皮带的内表面且远离第一皮带轮的外表面传动连接有第二皮带轮。

6、优选的，所述第二皮带轮的内表面滑动连接有传动杆，且所述传动杆的两端均与所述真空室的内壁转动，所述传动杆一端贯穿至真空室的外部，并通过联轴器固定连接有传动电机。

7、优选的，所述第二皮带轮的一侧固定连接有传动块，且所述传动块的内表面与所述传动杆的外表面滑动连接，所述传动块的外表面接触有连接板，且所述连接板的顶端与所述驱动板的底端固定连接。

8、有益效果

9、本实用新型提供了一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具。与现有技术相比具备以下有益效果：

10、(1)、该钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，通过设置夹持机构，通过转动控制块，从而使控制块配合双向螺杆带动两个夹持块在固定块的内表面移动，从而使两个夹持块相互靠近或是远离，由此根据钕铁硼磁体的大小调整两个夹持块之间的间距，并且对其进行夹持固定，使其在气相沉积的过程中保持稳定。

11、(2)、该钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，通过设置驱动机构，通过启动传动电机，传动电机的输出端通过该联轴器配合传动杆带动第二皮带轮转动，由此使第二皮带轮配合皮带带动第一皮带轮转动，从而使第一皮带轮通过配合驱动轴带动夹持机构转动，由此使钕铁硼磁体在进行气相沉积的过程中，通过驱动机构的带动使其能够在气相沉积的同时转动，从而提高对其表面涂覆的均匀性。

技术特征：

1.一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，包括真空室(1)和固定连接在真空室(1)内壁的支撑杆(2)，其特征在于：所述支撑杆(2)的外表面两侧均滑动连接有驱动板(3)，且两个所述驱动板(3)的一侧均与所述真空室(1)的内壁滑动连接，两个所述驱动板(3)的一侧均固定连接有液压杆(4)，且两个所述液压杆(4)的一端均贯穿至真空室(1)的外部，两个所述驱动板(3)的内表面均转动连接有驱动轴(5)，所述驱动轴(5)的一端设有对钕铁硼磁体进行固定的夹持机构(6)，所述驱动轴(5)的一端外表面设有带动夹持机构(6)转动的驱动机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，其特征在于：所述夹持机构(6)包括固定连接在所述驱动轴(5)一端的固定块(601)，所述固定块(601)的内壁转动连接有双向螺杆(602)，且所述双向螺杆(602)的一端贯穿至固定块(601)的顶端，并固定连接有控制块(603)。

3.根据权利要求2所述的一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，其特征在于：所述双向螺杆(602)的外表面转动连接有限位板(604)，且所述限位板(604)的外表面与所述固定块(601)的内表面固定连接，所述双向螺杆(602)的外表面两端均螺纹连接夹持块(605)，且两个所述夹持块(605)的一端均贯穿至所述固定块(601)的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，其特征在于：所述驱动机构(7)包括固定连接在所述驱动轴(5)外表面的第一皮带轮(701)，所述第一皮带轮(701)的外表面传动连接有皮带(702)，所述皮带(702)的内表面且远离第一皮带轮(701)的外表面传动连接有第二皮带轮(703)。

5.根据权利要求4所述的一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，其特征在于：所述第二皮带轮(703)的内表面滑动连接有传动杆(704)，且所述传动杆(704)的两端均与所述真空室(1)的内壁转动，所述传动杆(704)一端贯穿至真空室(1)的外部，并通过联轴器固定连接有传动电机(705)。

6.根据权利要求5所述的一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，其特征在于：所述第二皮带轮(703)的一侧固定连接有传动块(8)，且所述传动块(8)的内表面与所述传动杆(704)的外表面滑动连接，所述传动块(8)的外表面接触有连接板(9)，且所述连接板(9)的顶端与所述驱动板(3)的底端固定连接。

技术总结
本技术公开了一种钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，包括真空室和固定连接在真空室内壁的支撑杆，所述支撑杆的外表面两侧均滑动连接有驱动板，且两个所述驱动板的一侧均与所述真空室的内壁滑动连接，两个所述驱动板的一侧均固定连接有液压杆，且两个所述液压杆的一端均贯穿至真空室的外部，本技术涉及钕铁硼磁体技术领域。该钕铁硼磁体的表面物理气相沉积夹具，通过设置夹持机构，通过转动控制块，从而使控制块配合双向螺杆带动两个夹持块在固定块的内表面移动，从而使两个夹持块相互靠近或是远离，由此根据钕铁硼磁体的大小调整两个夹持块之间的间距，并且对其进行夹持固定，使其在气相沉积的过程中保持稳定。

技术研发人员：樊金奎,邓晓飞,任晓东,金亮,何超华,张晨翔
受保护的技术使用者：杭州永磁集团振泽磁业有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/15