技术编号：36428508
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种微机电传感器件测试装置【技术领域】.本发明属于传感器测试技术领域，特别涉及一种微机电传感器件测试装置。【背景技术】.微机电器件，又称mems器件，是指具有微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，基于微机电器件的传感器应用领域相当广泛，常见的产品例如mems加速度计、mems陀螺仪、mems湿度传感器、mems...
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