一种微机电传感器件测试装置的制作方法

【】本发明属于传感器测试，特别涉及一种微机电传感器件测试装置。

背景技术

0、
背景技术：

1、微机电器件，又称mems器件，是指具有微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，基于微机电器件的传感器应用领域相当广泛，常见的产品例如mems加速度计、mems陀螺仪、mems湿度传感器、mems磁传感器、mems光学防抖器件等。

2、随着终端应用的智能化及高速化，mems传感器件通常设计为支持多种通信方式，来满足不同的客户端通信需求。在诸多支持的通信方式中，spi(serial peripheralinterface，串行外围设备接口)是一种高速的、全双工、同步的通信总线，常见的四线制spi在芯片的管脚上只占用四根线，即可实现点对点、点对多、多对点的全双工通信模式，这四根线对于主设备来说，它们是时钟(sck)、片选(cs)、从设备输入信号(mosi)及从设备输出信号(miso)。同时，spi通信方式还存在一种三线制通信方式，对于从设备来说，三线spi只有时钟(sck)、片选(cs)及双向数据收发(sdi/o)三根线，三线spi相对于四线spi来说，硬件成本更低，占用的io口更少，而且只需要一个主从器件就可以实现全双工通信，也受到许多终端应用的青睐，越来越多的产品需要同时支持spi四线制及三线制通信，以满足不同客户端的应用需求。因此，为了全面支持spi通信功能，在进行微机电传感器件的产品功能测试时，既需验证4线制spi通信功能，也要兼顾3线制spi通信功能的可靠性验证，为研发测试提出了挑战。

3、因此，有必要提出一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

0、
技术实现要素：

1、本发明的目的之一在于提供一种微机电传感器件测试装置，其在仅有外部四线spi主控设备的条件下，可以兼容mems传感器的spi三线及四线制通信功能的测试。

2、根据本发明的一个方面，本发明提供一种微机电传感器件测试装置，其包括测试装置本体，所述测试装置本体包括：待测样品放置区，其用于放置n个微机电传感器件，其中，n为正整数，所述n个微机电传感器件均设置有四线spi信号端子，所述四线spi信号端子包括sck端子、sdi端子、cs端子和sdo端子；通信切换单元，其包括第一输入端、第二输入端、第三输入端、第一输出端、第二输出端、第三输出端和受控端，所述第一输入端与所述n个微机电传感器件的sdi端子电连接；所述第二输入端与所述n个微机电传感器件中待测微机电传感器件的cs端子电连接；所述第三输入端与所述n个微机电传感器件的sdo端子电连接；spi接口，其包括sck时钟输入端、从设备信号输入端、片选端和从设备信号输出端，所述sck时钟输入端与所述n个微机电传感器件112的sck端子电连接；所述从设备信号输入端与所述第一输出端电连接，所述片选端与所述第二输出端电连接，所述从设备信号输出端与所述第三输出端电连接。

3、与现有技术相比，本发明提供的微机电传感器件测试装置中的测试装置本体的结构简单、成本较低，在研发测试阶段没有额外购买专用三线spi主控器的条件下，也能依靠现有的四线制spi主控器，搭配测试装置本体使用，实现待测微机电传感器的三线以及四线spi功能的验证，节省了大额的设备采购成本，提高了测试效率，避免了因测试设备短缺带来的产品测试周期延长的问题。

技术特征：

1.一种微机电传感器件测试装置，其特征在于，其包括测试装置本体，所述测试装置本体包括：

2.根据权利要求1所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，其还包括四线spi主控器，

3.根据权利要求1所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

6.根据权利要求1-5任一所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，其还包括多路复用器，

7.根据权利要求6所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，其还包括双向逻辑电平转换器，

8.根据权利要求7所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

11.根据权利要求7所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

12.根据权利要求11所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

13.根据权利要求12所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

14.根据权利要求13所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

15.根据权利要求14所述的微机电传感器件测试装置，其特征在于，

技术总结
本发明提供一种微机电传感器件测试装置，其包括测试装置本体，测试装置本体包括：待测样品放置区，其用于放置N个微机电传感器件；通信切换单元，其包括第一输入端、第二输入端、第三输入端、第一输出端、第二输出端、第三输出端和受控端，第一输入端与微机电传感器件的SDI端子电连接；第二输入端与待测微机电传感器件的CS端子电连接；第三输入端与微机电传感器件的SDO端子电连接；SPI接口，其SCK时钟输入端与微机电传感器件的SCK端子电连接，其从设备信号输入端、片选端和从设备信号输出端分别与第一输出端电、第二输出端电连接和第三输出端电连接。与现有技术相比，本发明在仅有四线SPI主控设备的条件下，可以兼容SPI三线及四线通信功能的测试。

技术研发人员：李妍君,柯亮,林武,陈赟
受保护的技术使用者：美新半导体（无锡）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15