一种具有双文丘里管路结构的MEMS热式气体流量传感器的制作方法

本发明属于传感器，涉及一种采用双文丘里管路结构的mems热式气体流量传感器。它可用于民用、工业、医疗等领域里各类气体的流量的测量。

背景技术：

1、气体流量传感器应用广泛，极大的影响着社会各行各业的发展。如工业生产、科学实验、保证产品质量、提高生产效率、节约能源、促进科技的发展等方面起着重要作用。

2、气体流量传感器种类比较多，有节流式、容积式、涡街式、电磁式、热式、超声波式等若干种。多数是采集流体的温度、压力等信号，再换算成流量。但由于气体流动状态不稳定，使气体流量传感器的流量测量准确性受到影响。而由美国的科学家发明的插入式气体流量传感器，为流量的测量带来了一场革命，实现了直接测量流体质量流量的目的。随着科学技术的不断发展，气体流量传感器变得体积小，低成本，稳定性好，功耗低，可被批量制造。

3、当前国内高精度气体流量传感器技术还不成熟，国内市场上大部分的产品都是进口而来，在国外主要由瑞士、荷兰、欧美和日本等技术发达的国家，凭借他们先进的半导体技术大力发展气体流量传感器，并已取得了喜人的成果。但总体看来，目前市场上的这类产品相互不兼容，产品还没有实现商业化，应用也没有普遍化，高精度符合要求的气体流量传感器还在进一步的研发中。故气体流量传感器成为一种正常发展且具有广阔前景的新技术产品。

4、mems气体流量计传感器采用mems芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场(温度分布),当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质流量。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种具有双文丘里管路结构的mems热式气体流量传感器，应用于民工、工业、医疗等领域的气体流量检测。

2、为了达成上述目的，本发明主要包含：双文丘里管路、mems热式流量芯片、数据采集及处理单元。其特征在于：

3、所述的mems热式气体流量传感器包含有内外两个同轴的文丘里管路以及一个mems热式流量芯片。

4、所述的mems热式气体流量传感器中的mems热式流量芯片，位于内文丘里管路中部的内壁上。

5、所述的mems热式气体流量传感器中的两个mems热式流量芯片通过测量流经内文丘里管路的气体流量间接测量流经整个文丘里管路的双向气体流量。

6、所述的mems热式气体流量传感器中的数据采集及处理单元主要用于信号的调理、放大、采集、温度补偿以及流量信息的输出。

7、本发明提供的一种具有双文丘里管路结构的mems热式气体流量传感器，具有测量范围宽、测量精度高、测量种类多等特点，应用于各类气体的流量检测。

技术特征：

1.按权利要求1所述的一种具有双文丘里管路结构的mems热式气体流量传感器，其特征在于：所述的mems热式流量传感器包含内外两个文丘里管路。

2.按权利要求1所述的一种具有双文丘里管路结构的mems热式气体流量传感器，其特征在于：所述的mems热式流量传感器中的mems热式流量芯片位于内文丘里管路中部的内壁。

3.按权利要求1所述的一种具有双文丘里管路结构的mems热式气体流量传感器，其特征在于：所述的mems热式流量传感器可以测量流经两个文丘里管的双向气体的流量。

技术总结
本发明公开了一种具有双文丘里管路结构的MEMS热式气体流量传感器，该MEMS热式气体流量传感器主要由内外两个同轴的文丘里管路以及一个MEMS热式流量芯片组成，内文丘里管对流经外文丘里管的部分气流起分流和整形作用，MEMS热式流量芯片位于内文丘里管路中部的内壁上，它通过测量流经内文丘里管路的气体流量间接测量流经整个文丘里管路的双向气体流量。

技术研发人员：朱海兵,鲍宏伟
受保护的技术使用者：科立惠尔医学技术（北京）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15