技术编号:3645569
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。新型树脂以及包括该新型树脂的光致抗蚀剂组合物按照美国法典35U. S. C第119条第(e)项,本申请要求于2009年5月20日提交 的美国临时申请NO. 61/216,660的优先权,该申请的所有内容引入此以做参考。本发明涉及一种新型多元环、多环酯单体,包含多元环、多环酯单元的树脂以及包 含该树脂的光致抗蚀剂。优选光致抗蚀剂包含所述树脂,并且为能在低于200nm辐射线,例 如193nm辐射线下有效成像的化学放大正型组合物。光致抗蚀剂是用于将图像转印至衬底...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。