技术编号:36515656
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及隔离装置技术领域,具体为一种具有稳定支撑结构的隔离装置。背景技术.半导体制造领域中,需要采用多种半导体加工设备完成半导体的生产,而至少部分加工设备需要利用分子泵,使设备内部形成一个稳定的真空状态。.半导体在加工过程中需要使用分子泵,现有的分子泵在使用的过程中内部转轴一般只是通过套接在轴承座的内部,在高速运转的过程中可能会出现偏心的状况导致不稳定;鉴于此,我们需要一种具有稳定支撑结构的隔离装置。实用新型内容.本实用新型的目的在于提供一种具有稳定支撑结构的隔离装置,以解决上述...
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