一种具有稳定支撑结构的隔离装置的制作方法

本技术涉及隔离装置，具体为一种具有稳定支撑结构的隔离装置。

背景技术：

1、半导体制造领域中，需要采用多种半导体加工设备完成半导体的生产，而至少部分加工设备需要利用分子泵，使设备内部形成一个稳定的真空状态。

2、半导体在加工过程中需要使用分子泵，现有的分子泵在使用的过程中内部转轴一般只是通过套接在轴承座的内部，在高速运转的过程中可能会出现偏心的状况导致不稳定；鉴于此，我们需要一种具有稳定支撑结构的隔离装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有稳定支撑结构的隔离装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体，所述机体的内壁上固定安装有轴承座，所述轴承座的内壁上滑动连接有螺纹板，所述螺纹板的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述轴承座的内部设置有支撑机构，所述支撑机构包括有：

3、挤压弹簧，所述挤压弹簧固定安装在螺纹板的外壁上；

4、弧形板，所述弧形板的外壁与挤压弹簧的端部固定连接，所述弧形板与轴承座的内壁滑动连接。

5、优选的，所述弧形板设置为弧形状，所述弧形板的内部滚动连接有滚珠。

6、优选的，所述弧形板的外壁与支杆的一端铰接，所述支杆的另一端与滑块铰接。

7、优选的，所述滑块与螺纹板的外壁滑动连接，所述滑块的外壁上固定安装有连接杆。

8、优选的，所述连接杆的端部固定安装有限位尺，所述限位尺共设置有两组，且两组限位尺以轴承座竖直方向上的中心线为对称轴对称设置。

9、优选的，所述轴承座的内壁上固定安装有卡尺，所述卡尺位于限位尺的外侧。

10、与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有稳定支撑结构的隔离装置，具备以下有益效果：

11、1、该具有稳定支撑结构的隔离装置通过支撑机构内部两弧形板带动滚珠对中间的转轴进行挤压支撑，通过滚珠能够进行转动，使转轴被支撑的同时不被影响运转。

12、2、该具有稳定支撑结构的隔离装置在进行夹持的过程中通过挤压力使弧形板对支杆的端部进行挤压，最后通过内部传动使限位尺与卡尺之间卡接，进而使两弧形板不再继续对中间的转轴进行夹持，防止转轴被过度夹持影响运转。

技术特征：

1.一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体(1)，所述机体(1)的内壁上固定安装有轴承座(2)，其特征在于：所述轴承座(2)的内壁上滑动连接有螺纹板(3)，所述螺纹板(3)的内部螺纹连接有双向螺纹杆(4)，所述轴承座(2)的内部设置有支撑机构(5)，所述支撑机构(5)包括有：

2.根据权利要求1所述的一种具有稳定支撑结构的隔离装置，其特征在于：所述弧形板(52)设置为弧形状，所述弧形板(52)的内部滚动连接有滚珠(53)。

3.根据权利要求2所述的一种具有稳定支撑结构的隔离装置，其特征在于：所述弧形板(52)的外壁与支杆(54)的一端铰接，所述支杆(54)的另一端与滑块(55)铰接。

4.根据权利要求3所述的一种具有稳定支撑结构的隔离装置，其特征在于：所述滑块(55)与螺纹板(3)的外壁滑动连接，所述滑块(55)的外壁上固定安装有连接杆(56)。

5.根据权利要求4所述的一种具有稳定支撑结构的隔离装置，其特征在于：所述连接杆(56)的端部固定安装有限位尺(57)，所述限位尺(57)共设置有两组，且两组限位尺(57)以轴承座(2)竖直方向上的中心线为对称轴对称设置。

6.根据权利要求5所述的一种具有稳定支撑结构的隔离装置，其特征在于：所述轴承座(2)的内壁上固定安装有卡尺(58)，所述卡尺(58)位于限位尺(57)的外侧。

技术总结
本技术涉及隔离装置技术领域，且公开了一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体，所述机体的内壁上固定安装有轴承座，所述轴承座的内壁上滑动连接有螺纹板，所述螺纹板的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述轴承座的内部设置有支撑机构，所述挤压弹簧固定安装在螺纹板的外壁上，所述弧形板的外壁与挤压弹簧的端部固定连接，所述弧形板与轴承座的内壁滑动连接，所述弧形板设置为弧形状，所述弧形板的内部滚动连接有滚珠，所述弧形板的外壁与支杆的一端铰接。该具有稳定支撑结构的隔离装置通过支撑机构内部两弧形板带动滚珠对中间的转轴进行挤压支撑，通过滚珠能够进行转动，使转轴被支撑的同时不被影响运转。

技术研发人员：王占杰
受保护的技术使用者：上海富玖帕精密设备有限公司
技术研发日：20230620
技术公布日：2024/1/15