技术编号：36622250
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及半导体晶圆片存储，具体涉及一种用于存储半导体晶圆片的智能仓储结构。背景技术、半导体晶圆片是半导体制造的重要原料，其上刻有微小的电路图案，用于生产各种集成电路。为了保护晶圆片上的电路图案不受污染或损坏，需要使用光罩盒将晶圆片密封存放。光罩盒是一种特殊的容器，其内部具有洁净的环境，可以防止灰尘、水汽、静电等对晶圆片造成影响。、随着半导体技术的发展，晶圆片的尺寸越来越大，光罩盒的数量也越来越多，因此对光罩盒的储存和管理提出了更高的要求。传统的光罩盒储存方式是使用手动或半自动的方式将光罩盒...
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