技术编号:3666257
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种纳米压印的方法,具体是一种特征尺度在100纳米及以下尺度点阵结构软模板的制备方法。背景技术近年来,随着纳米加工技术和纳米材料的迅速发展,微纳结构的成型受到越来越多的关注。2003年2月,Technology Review报道了改变世界的十大新兴技术,其中一项便是纳米压印技术(Nanoimprint Lithography)。纳米压印技术,是利用带有纳米图案的模板在光刻胶上压印,将模板上的纳米图案转移到基底表面的光刻胶上,再用刻蚀工艺将光刻...
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