技术编号：36683936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及等离子废气处理设备领域，特别是涉及一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置。背景技术、在半导体及电路板等行业的生产过程中，会产生各种工业废气，工业废气如果不经过处理就进行排放，通常会对人体和环境造成一定的危害。因此，需要专业的设备进行工业废气的处理，其中，等离子废气处理设备的体积小，移动灵活，特别适用于半导体及电路板行业中工业废气的处理。、等离子废气处理设备基于等离子体火炬，可以喷射出超高温的喷射流火焰，为待处理的废气和相关反应气体提供热能，进行工业废气中有机物和卤化物的转化，减...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。