一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置的制作方法

本技术涉及等离子废气处理设备领域，特别是涉及一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置。

背景技术：

1、在半导体及电路板等行业的生产过程中，会产生各种工业废气，工业废气如果不经过处理就进行排放，通常会对人体和环境造成一定的危害。因此，需要专业的设备进行工业废气的处理，其中，等离子废气处理设备的体积小，移动灵活，特别适用于半导体及电路板行业中工业废气的处理。

2、等离子废气处理设备基于等离子体火炬，可以喷射出超高温的喷射流火焰，为待处理的废气和相关反应气体提供热能，进行工业废气中有机物和卤化物的转化，减少对人体和环境的危害。

3、半导体及电路板生产过程中的设备多，一台等离子废气处理设备往往需要为多个生产设备服务，处理多个生产设备产生的工业废气。在单个或者多个生产设备同时工业废气时，需要对应的通道将工业废气导入反应腔，由于现有设备通常都是简单的将工业废气直接导入反应腔，多通道工作时，容易导致局部气压大，流量不均匀，也就是工业废气的受热并不均匀，影响了废气的转化处理效果，需要进行改进。

技术实现思路

1、本实用新型主要解决的技术问题是提供一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，满足多通道进气，提升工业废气分布及处理时受热的均匀性。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，包括：进气管、管接头、连接筒、第一锥形导流罩和第二锥形导流罩，所述管接头间隔设置在连接筒的外圆上，所述进气管与管接头外端一一对应连接，所述连接筒顶部设置有第一连接盘，所述连接筒底部设置有第二连接盘，所述第一锥形导流罩反向设置在第一连接盘与第二连接盘之间，所述第二锥形导流罩设置在第一连接盘与第二连接盘之间，所述第二锥形导流罩同心布置在第一锥形导流罩的外侧，所述第一锥形导流罩上间隔设置有多个第一布气孔，所述第二锥形导流罩上间隔设置有多个第二布气孔。

3、在本实用新型一个较佳实施例中，所述连接筒的外圆上环形阵列设置有与管接头一一对应的通道。

4、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一连接盘中部设置有与第一锥形导流罩顶部对应的第一连接孔，所述第二连接盘中部设置有与第一锥形导流罩底部对应的第二连接孔，所述第一连接孔的直径大于第二连接孔的直径。

5、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一布气孔分多圈上下间隔分布在第一锥形导流罩上。

6、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第二布气孔分多圈上下间隔分布在第二锥形导流罩上。

7、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一锥形导流罩和第二锥形导流罩之间形成位于第一连接盘与第二连接盘之间的第一环形腔体。

8、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第二锥形导流罩和连接筒之间形成位于第一连接盘与第二连接盘之间的第二环形腔体。

9、在本实用新型一个较佳实施例中，所述管接头的数量为2~10个。

10、在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一布气孔的中心线沿水平方向延伸，所述第二布气孔的中心线斜向下延伸，并与水平方向的夹角为10°~30°。

11、本实用新型的有益效果是：本实用新型指出的一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，进气管可以满足多个生产设备的工业废气排放需要，将工业废气同时导入第二环形腔体，进行第一次气压均衡，然后通过第二布气孔进入第一环形腔体，进行第二次气压均衡，最后再通过第一布气孔均匀吹向第一锥形导流罩内部，经受来自等离子体火炬的火焰加热，工业废气分布和受热均匀，有利于提升工业废气的转化处理效果。

技术特征：

1.一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，包括：进气管、管接头、连接筒、第一锥形导流罩和第二锥形导流罩，所述管接头间隔设置在连接筒的外圆上，所述进气管与管接头外端一一对应连接，所述连接筒顶部设置有第一连接盘，所述连接筒底部设置有第二连接盘，所述第一锥形导流罩反向设置在第一连接盘与第二连接盘之间，所述第二锥形导流罩设置在第一连接盘与第二连接盘之间，所述第二锥形导流罩同心布置在第一锥形导流罩的外侧，所述第一锥形导流罩上间隔设置有多个第一布气孔，所述第二锥形导流罩上间隔设置有多个第二布气孔。

2.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述连接筒的外圆上环形阵列设置有与管接头一一对应的通道。

3.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述第一连接盘中部设置有与第一锥形导流罩顶部对应的第一连接孔，所述第二连接盘中部设置有与第一锥形导流罩底部对应的第二连接孔，所述第一连接孔的直径大于第二连接孔的直径。

4.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述第一布气孔分多圈上下间隔分布在第一锥形导流罩上。

5.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述第二布气孔分多圈上下间隔分布在第二锥形导流罩上。

6.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述第一锥形导流罩和第二锥形导流罩之间形成位于第一连接盘与第二连接盘之间的第一环形腔体。

7.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述第二锥形导流罩和连接筒之间形成位于第一连接盘与第二连接盘之间的第二环形腔体。

8.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述管接头的数量为2~10个。

9.根据权利要求1所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，其特征在于，所述第一布气孔的中心线沿水平方向延伸，所述第二布气孔的中心线斜向下延伸，并与水平方向的夹角为10°~30°。

技术总结
本技术公开了一种等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，包括：进气管、管接头、连接筒、第一锥形导流罩和第二锥形导流罩，所述管接头间隔设置在连接筒的外圆上，所述连接筒顶部设置有第一连接盘，所述连接筒底部设置有第二连接盘，所述第一锥形导流罩反向设置在第一连接盘与第二连接盘之间，所述第二锥形导流罩同心布置在第一锥形导流罩的外侧，所述第一锥形导流罩上间隔设置有多个第一布气孔，所述第二锥形导流罩上间隔设置有多个第二布气孔。通过上述方式，本技术所述的等离子废气处理设备用多通道进气连接装置，满足多个生产设备的排放需要，工业废气在第一锥形导流罩内的分布和受热均匀，有利于提升工业废气的转化处理效果。

技术研发人员：王彬
受保护的技术使用者：苏州易科华环保科技有限公司
技术研发日：20230313
技术公布日：2024/1/15