技术编号:36693672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及光伏电池设备制造领域,具体来说,是一种扩散炉及光伏电池扩散工艺装置。背景技术、扩散炉作为太阳能电池扩散工艺的主要承载体,其扩散性能对电池的效率具有重要影响。该扩散性能主要体现于炉内介质间的化学反应,即氮气携带含磷物质与硅片在高温的条件下反应生成磷、二氧化硅和氯气。整个扩散工艺中输入扩散炉内的气相介质主要分两类物质,即氮气与氧气,其中氧气作为反应气体参与扩散化学反应,而氮气作为三氯氧磷的承载体不参与反应,起到携带作用。、目前发现现有的扩散炉内氧气与氮气存在明显的浓度分界层现象,分界层...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。