扩散炉及光伏电池扩散工艺装置的制作方法

本申请涉及光伏电池设备制造领域，具体来说，是一种扩散炉及光伏电池扩散工艺装置。

背景技术：

1、扩散炉作为太阳能电池扩散工艺的主要承载体，其扩散性能对电池的效率具有重要影响。该扩散性能主要体现于炉内介质间的化学反应，即氮气携带含磷物质与硅片在高温的条件下反应生成磷、二氧化硅和氯气。整个扩散工艺中输入扩散炉内的气相介质主要分两类物质，即氮气与氧气，其中氧气作为反应气体参与扩散化学反应，而氮气作为三氯氧磷的承载体不参与反应，起到携带作用。

2、目前发现现有的扩散炉内氧气与氮气存在明显的浓度分界层现象，分界层的出现会导致炉内氮气(含磷物质)浓度分布不均匀，致使电池片方阻出现波动，影响最终发电效率。

3、虽然现有技术中在一些方案中会在扩散炉内设置导流结构，从而引导气流流动，从而改善炉内气体浓度场分布，然而这种导流结构由于设计不合理，会占用原本石英舟的部分位置，导致石英舟的放置位置也需要相应改变，提高了改造成本。因此，兼顾改善炉内气体浓度场分布和改造成本，是本领域亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在解决现有技术中导流结构由于设计不合理导致改造成本高的问题，提出了一种扩散炉及光伏电池扩散工艺装置。

2、为实现本实用新型的目的而提供一种扩散炉，包括：炉体，所述炉体内设置有用于气体扩散的扩散腔；导流结构，所述导流结构设置在所述扩散腔内，所述导流结构用于引导所述扩散腔内的气体扩散，所述导流结构具有用于放置石英舟的容纳空间。

3、进一步地，所述导流结构包括：导流板，所述导流板为多个，多个所述导流板沿所述扩散腔的内壁周向间隔设置；所述导流板具有相对设置的第一侧边和第二侧边，所有所述导流板的第一侧边与所述扩散腔的内壁相连，所有所述导流板的第二侧边拟合围成所述容纳空间。

4、进一步地，相邻的两个所述导流板之间形成扩散通道。

5、进一步地，所述炉体为筒状结构，所述炉体沿轴向具有第一端和第二端，所述导流板自所述炉体的第一端延伸至所述炉体的第二端。

6、进一步地，所述导流板沿所述炉体的轴向延伸；

7、所述导流板包括多个子导流板，所述子导流板沿所述炉体的轴线方向间隔设置，相邻的子导流板之间形成扩散间隙。

8、进一步地，所述导流板为沿所述炉体轴线回转延伸的螺旋结构。

9、进一步地，所述导流板上设置有扰流结构。

10、进一步地，所述扰流结构包括扰流凸起和/或扰流孔。

11、进一步地，所述扩散炉还包括：加热丝，所述加热丝设置在所述炉体的外周壁上，所述加热丝用于加热所述扩散通道内的气体。

12、根据本实用新型的另一个方面，还公开了一种光伏电池扩散工艺装置，包括上述的扩散炉。

13、本实用新型的扩散炉通过设置导流结构，可以通过导流结构对内部气体进行引导，从而提高扩散效率。由于其内部设置有放置石英舟的容纳空间，因此，在引导气流的同时，不会影响石英舟，因此，石英舟无需进行位置或尺寸上的改变，因此，改造成本更低，改造过程也更加容易。

技术特征：

1.一种扩散炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述导流结构包括：

3.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的扩散炉，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的扩散炉，其特征在于，

7.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，

9.根据权利要求3所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括：

10.一种光伏电池扩散工艺装置，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的扩散炉。

技术总结
本技术提供一种扩散炉及光伏电池扩散工艺装置。扩散炉，包括：炉体，所述炉体内设置有用于气体扩散的扩散腔；导流结构，所述导流结构设置在所述扩散腔内，所述导流结构用于引导所述扩散腔内的气体扩散，所述导流结构具有用于放置石英舟的容纳空间。本技术的扩散炉通过设置导流结构，可以通过导流结构对内部气体进行引导，从而提高扩散效率。由于其内部设置有放置石英舟的容纳空间，因此，在引导气流的同时，不会影响石英舟，因此，石英舟无需进行位置或尺寸上的改变，因此，改造成本更低，改造过程也更加容易。

技术研发人员：张玉,丁志强,丁留伟,王榕,唐浩,彭云,胡俊龙
受保护的技术使用者：天合光能股份有限公司
技术研发日：20230705
技术公布日：2024/1/15