一种扩散炉尾排改善机构的制作方法

本技术涉及扩散炉，具体为一种扩散炉尾排改善机构。

背景技术：

1、扩散炉是一种半导体的生产加工用具，是太阳能行业的主要设备之一，太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、氧化、镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序，高温扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出，由于尾排抽出气体在管道中冷却、冷凝会产生固态物质，在尾排三通接头中很容易发生堵塞，尾排接头堵塞极易造成泵速异常，容易造成后续返工，现有且尾排结构在堵塞后需要将其拆下进行清理维护，操作较为繁琐。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种扩散炉尾排改善机构，以解决上述背景技术提出的温扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出，由于尾排抽出气体在管道中冷却、冷凝会产生固态物质，在尾排三通接头中很容易发生堵塞，尾排接头堵塞极易造成泵速异常，容易造成后续返工，现有且尾排结构在堵塞后需要将其拆下进行清理维护的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管、第二连接管、安装头和尾排接管，所述第一连接管和第二连接管相互连通设置，且第一连接管的端部和第二连接管的端部均设置有安装头，安装头上连接有尾排接管，连接尾排气体，所述第一连接管和第二连接管相互垂直设置，形成三通管结构，且第二连接管位于第一连接管的中部，并且第二连接管的下方设置有辅助罩，所述辅助罩固定在第一连接管的下方，且辅助罩的内部和第一连接管的内部相互连通设置，第一连接管和第二连接管内的杂质和堵塞物可通过辅助罩排出，所述辅助罩的下方可拆卸连接有安装块，对辅助罩的下方开口进行封堵，所述第一连接管的端部和第二连接管的端部均设置有清理圈，且清理圈的外侧和第一连接管以及第二连接管的内壁贴合，在移动时可对第一连接管和第二连接管进行清理，所述清理圈的内侧固定有连接板，且连接板的中部固定有控制绳，所述控制绳的端部和安装块相连接，通过安装块的移动拉动控制绳移动，所述连接板的外端设置有回拉辅助机构，为连接板和清理圈提供回拉复位力。

3、进一步优化本技术方案，所述安装块和辅助罩之间构成螺纹连接，且安装块的下端呈正多边形结构设计，用于辅助控制安装块的旋转，后续可通过旋转的方式将安装块从辅助罩上取下。

4、进一步优化本技术方案，所述第一连接管的内部设置有两组清理圈，两组清理圈关于第一连接管的中心左右对称设置。

5、进一步优化本技术方案，所述第一连接管的内部安装有引导轴，且引导轴和控制绳相贴合，对控制绳提供转向的支撑。使后续安装块能稳定带动控制绳移动。

6、进一步优化本技术方案，所述回拉辅助机构包括回拉绳和自动收卷机构；

7、回拉绳，固定在连接板的外端为连接板提供回拉力；

8、自动收卷机构，和回拉绳相连接控制回拉绳的收卷。

9、进一步优化本技术方案，所述自动收卷机构包括固定座、收卷轴和扭力弹簧；

10、固定座，设置在连接板的外侧，且固定座通过边侧的支撑柱和第一连接管以及第二连接管固定连接；

11、收卷轴，设置在固定座的内部和固定座之间构成转动连接，且收卷轴的表面缠绕有回拉绳，通过收卷轴的旋转对回拉绳进行收卷和放卷；

12、扭力弹簧，安装在收卷轴的端部为收卷轴提供旋转复位力。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、该扩散炉尾排改善机构通过第一连接管和第二连接管的组合替换原有尾排机构上的三通阀，且第一连接管和第二连接管内设置有可移动的清理圈，方便对第一连接管和第二连接管内的堵塞物进行清理，并且第一连接管和第二连接管可选用比尾排管内径较大的管体，保证气体的顺利通过；

15、该扩散炉尾排改善机构在第一连接管和第二连接管内发生堵塞时可通过将安装块拆下拉动安装块控制清理圈的移动，使清理圈能对第一连接管和第二连接管内的杂质进行去除，且清理出的杂质可直接通过辅助罩排出，后续不需要拆卸整个管体，处理更加方便。

技术特征：

1.一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管（1）、第二连接管（2）、安装头（3）和尾排接管（4），所述第一连接管（1）和第二连接管（2）相互连通设置，且第一连接管（1）的端部和第二连接管（2）的端部均设置有安装头（3），安装头（3）上连接有尾排接管（4），连接尾排气体；

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述安装块（6）和辅助罩（5）之间构成螺纹连接，且安装块（6）的下端呈正多边形结构设计，用于辅助控制安装块（6）的旋转。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述第一连接管（1）的内部设置有两组清理圈（8），两组清理圈（8）关于第一连接管（1）的中心左右对称设置。

4.根据权利要求1或3所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述第一连接管（1）的内部安装有引导轴（14），且引导轴（14）和控制绳（13）相贴合，对控制绳（13）提供转向的支撑，使后续安装块（6）能稳定带动控制绳（13）移动。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述回拉辅助机构包括回拉绳（10）和自动收卷机构；

6.根据权利要求5所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述自动收卷机构包括固定座（7）、收卷轴（11）和扭力弹簧（12）；

技术总结
本技术涉及扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管、第二连接管、安装头和尾排接管，所述第一连接管和第二连接管相互连通设置，且第一连接管的端部和第二连接管的端部均设置有安装头，安装头上连接有尾排接管，连接尾排气体，所述第一连接管和第二连接管相互垂直设置，形成三通管结构，且第二连接管位于第一连接管的中部。该扩散炉尾排改善机构通过第一连接管和第二连接管的组合替换原有尾排机构上的三通阀，且第一连接管和第二连接管内设置有可移动的清理圈，方便对第一连接管和第二连接管内的堵塞物进行清理，并且第一连接管和第二连接管可选用比尾排管内径较大的管体，保证气体的顺利通过。

技术研发人员：李鹏飞,胡维明
受保护的技术使用者：江苏润阳光伏科技有限公司
技术研发日：20230614
技术公布日：2024/1/15