晶体生产设备的制作方法

本技术涉及晶体制备，尤其是指一种晶体生产设备。

背景技术：

1、随着led技术在国内的迅速发展，led产业的衬底材料的需求也迅速增长。蓝宝石具有耐高温、抗腐蚀性、高强度、透光性好等特点，蓝宝石也成为了衬底材料的首选。目前蓝宝石行业已有多种相对成熟的生产工艺，包括泡生法、提拉法、坩埚下降法等等，其中泡生法是目前行业内比较公认的适合大规模生产各种大尺寸蓝宝石晶锭的方法。

2、现有的泡生法生产工艺，籽晶在熔料到煮料阶段，由于长期暴露于保温材料的上部，所以在熔料升温阶段和高温煮料阶段，大量原料的杂质和保温材料损耗会产生挥发物。挥发物在外排过程中易附着于相对低温的籽晶表面，导致籽晶被污染。受污染的籽晶在清洗、拉晶和晶体生长过程中，容易导致晶体的产量和质量下降，造成原材料的利用率降低，成效转化率低。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种可以提高晶体质量的晶体生产设备。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下的技术方案：

3、一种晶体生产设备，用于生产泡生法蓝宝石籽晶，晶体生产设备包括：炉体；炉盖，炉盖设置于炉体上并与炉体连接；提拉装置，提拉装置用于提拉炉体中的籽晶；晶体生产设备还包括保护装置，保护装置至少部分设置于炉盖和提拉装置之间；保护装置包括用于控制提拉装置和炉体之间连通或者封闭的开关机构，开关机构分别连接炉盖和提拉装置。

4、进一步地，开关机构包括密封阀，密封阀至少部分设置在炉盖和提拉装置之间；密封阀设置为刀闸阀。

5、进一步地，提拉装置包括升降管件和用于控制升降管件移动的提拉机构，开关机构设置于升降管件和炉盖之间。

6、进一步地，开关机构包括固定座，固定座设置于炉盖上并与炉盖连接，密封阀通过固定座与炉盖相连。

7、进一步地，开关机构还包括第一安装部和第二安装部，第一安装部连接至升降管件的下方，第二安装部连接至固定座的上方。

8、进一步地，第一安装部与升降管件卡箍连接，第二安装部与固定座螺纹连接。

9、进一步地，保护装置还包括密封圈，密封圈至少部分设置在固定座和第二安装部之间，和/或密封圈至少部分设置在升降管件和第一安装部之间。

10、进一步地，晶体生产设备还包括固定机构，固定机构至少部分围绕升降管件设置。

11、进一步地，固定机构包括套设于升降管件的固定套和用于连接固定套和固定座的支撑杆。

12、进一步地，升降管件上设置有用于输送保护气体的进气口，进气口设置在升降管件的上侧。

13、本实用新型提供的晶体生产设备可以通过开关机构的开启与关闭，使炉体在升温熔料和高温煮料阶段保持密封状态，从而使籽晶在炉体内不受高温熔料过程中产生的挥发物的污染，提高了晶体生产质量。

技术特征：

1.一种晶体生产设备，用于生产泡生法蓝宝石籽晶，所述晶体生产设备包括：炉体；

2.根据权利要求1所述的晶体生产设备，其特征在于，所述开关机构包括密封阀，所述密封阀至少部分设置在所述炉盖和所述提拉装置之间；所述密封阀设置为刀闸阀。

3.根据权利要求2所述的晶体生产设备，其特征在于，所述提拉装置包括升降管件和用于控制所述升降管件移动的提拉机构，所述开关机构设置于所述升降管件和所述炉盖之间。

4.根据权利要求3所述的晶体生产设备，其特征在于，所述开关机构包括固定座，所述固定座设置于所述炉盖上并与所述炉盖连接，所述密封阀通过所述固定座与所述炉盖相连。

5.根据权利要求4所述的晶体生产设备，其特征在于，所述开关机构还包括第一安装部和第二安装部，所述第一安装部连接至所述升降管件的下方，所述第二安装部连接至所述固定座的上方。

6.根据权利要求5所述的晶体生产设备，其特征在于，所述第一安装部与所述升降管件卡箍连接，所述第二安装部与所述固定座螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的晶体生产设备，其特征在于，所述保护装置还包括密封圈，所述密封圈至少部分设置在所述固定座和所述第二安装部之间，和/或所述密封圈至少部分设置在所述升降管件和所述第一安装部之间。

8.根据权利要求4所述的晶体生产设备，其特征在于，所述晶体生产设备还包括固定机构，所述固定机构至少部分围绕所述升降管件设置。

9.根据权利要求8所述的晶体生产设备，其特征在于，所述固定机构包括套设于所述升降管件的固定套和用于连接所述固定套和所述固定座的支撑杆。

10.根据权利要求3所述的晶体生产设备，其特征在于，所述升降管件上设置有用于输送保护气体的进气口，所述进气口设置在所述升降管件的上侧。

技术总结
本技术公开了一种晶体生产设备，用于生产泡生法蓝宝石籽晶，晶体生产设备包括：炉体；炉盖，炉盖设置于炉体上并与炉体连接；提拉装置，提拉装置用于提拉炉体中的籽晶；晶体生产设备还包括保护装置，保护装置至少部分设置于炉盖和提拉装置之间；保护装置包括用于控制提拉装置和炉体之间连通或者封闭的开关机构，开关机构分别连接炉盖和提拉装置。通过上述设置，晶体生产设备可以通过对开关机构的开启与关闭，使炉体在升温熔料和高温煮料阶段保持密封状态，从而使籽晶在炉体内不受高温熔料过程中产生的挥发物的污染，提高了晶体生产质量。

技术研发人员：石刚,冯当朝,王立军,石鹏,刘强,王俊明,翟成鑫,程海军
受保护的技术使用者：宁夏鑫晶盛电子材料有限公司
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/1/15