长晶炉系统的制作方法技术资料下载

技术编号:36710031

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本发明是有关于一种长晶炉系统,且特别是有关于一种具有可移动和旋转的炉体的长晶炉系统。背景技术、现有的长晶炉可以分为固定式以及移动式,其差异在于固定式长晶炉其炉体以及外部加热模块皆固定设置,而移动式长晶炉具有可移动的外部加热模块。一般而言,固定式长晶炉具有炉体加热不均的现有问题,加热不均匀的炉体使产出的晶体的前后端面具有较大的温度差异,造成前后端面的应力差增加,影响晶体的厚度以及品质。、移动式长晶炉虽可借由可移动的外部加热模块改善加热不均的问题,然而,控制外部加热模块移动的升降机构会使外部加热...
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