技术编号:36710031
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种长晶炉系统,且特别是有关于一种具有可移动和旋转的炉体的长晶炉系统。背景技术、现有的长晶炉可以分为固定式以及移动式,其差异在于固定式长晶炉其炉体以及外部加热模块皆固定设置,而移动式长晶炉具有可移动的外部加热模块。一般而言,固定式长晶炉具有炉体加热不均的现有问题,加热不均匀的炉体使产出的晶体的前后端面具有较大的温度差异,造成前后端面的应力差增加,影响晶体的厚度以及品质。、移动式长晶炉虽可借由可移动的外部加热模块改善加热不均的问题,然而,控制外部加热模块移动的升降机构会使外部加热...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。