长晶炉系统的制作方法

本发明是有关于一种长晶炉系统，且特别是有关于一种具有可移动和旋转的炉体的长晶炉系统。

背景技术：

1、现有的长晶炉可以分为固定式以及移动式，其差异在于固定式长晶炉其炉体以及外部加热模块皆固定设置，而移动式长晶炉具有可移动的外部加热模块。一般而言，固定式长晶炉具有炉体加热不均的现有问题，加热不均匀的炉体使产出的晶体的前后端面具有较大的温度差异，造成前后端面的应力差增加，影响晶体的厚度以及品质。

2、移动式长晶炉虽可借由可移动的外部加热模块改善加热不均的问题，然而，控制外部加热模块移动的升降机构会使外部加热模块的电磁感应不均，影响改善效果，同样地造成晶体的厚度以及品质降低。

技术实现思路

1、本发明提供一种长晶炉系统，借由可移动或/且转动的炉体，使炉体加热均匀，以降低晶体两端的温差以及应力差，进而使晶体的厚度增加以及品质提升。

2、本发明的一种长晶炉系统，包括一外部加热模块、一炉体、一第一驱动装置、一第二驱动装置以及一控制装置。炉体可运动地设置于外部加热模块之内。第一驱动装置驱动炉体沿一轴线移动。第二驱动装置驱动炉体沿轴线转动。控制装置电性连接于第一驱动装置、第二驱动装置及外部加热模块。

3、在本发明的一实施例中，上述的控制装置控制第一驱动装置与第二驱动装置同时或不同时运行，以使炉体在外部加热模块内移动或/且转动。

4、在本发明的一实施例中，上述的第一驱动装置驱动炉体沿着轴线移动的最大移动距离小于等于200毫米。

5、在本发明的一实施例中，上述的第一驱动装置驱动炉体沿着轴线移动的最小可移动距离大于等于0.1微米。

6、在本发明的一实施例中，上述的第一驱动装置驱动炉体沿着轴线移动的速率介于0.05毫米/小时至100毫米/分钟之间。

7、在本发明的一实施例中，上述的第二驱动装置驱动炉体沿着轴线转动的最大转速小于20rpm。

8、在本发明的一实施例中，上述的外部加热模块为一加热线圈组，加热线圈组涵盖炉体沿着轴线移动的移动范围。

9、在本发明的一实施例中，上述的长晶炉系统更包括一隔热层，包覆炉体，且连动于炉体。

10、在本发明的一实施例中，上述的长晶炉系统更包括一秤重器，位于炉体的下方，以秤量炉体的重量。

11、在本发明的一实施例中，上述的炉体内填充一原料且于炉体的内顶壁设有一籽晶。

12、基于上述，本发明的长晶炉系统包括可运动地设置于外部加热模块之内的炉体，并且借由第一驱动装置以及第二驱动装置使炉体移动或/且转动。这样的设计可使炉体加热均匀，进而使晶体受热均匀，以获得较厚且品质较佳的晶体。

技术特征：

1.一种长晶炉系统，包括：

2.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该控制装置控制该第一驱动装置与该第二驱动装置同时或不同时运行，以使该炉体在该外部加热模块内移动或/且转动。

3.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该第一驱动装置驱动该炉体沿着该轴线移动的最大移动距离小于等于200毫米。

4.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该第一驱动装置驱动该炉体沿着该轴线移动的最小可移动距离大于等于0.1微米。

5.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该第一驱动装置驱动该炉体沿着该轴线移动的速率介于0.05毫米/小时至100毫米/分钟之间。

6.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该第二驱动装置驱动该炉体沿着该轴线转动的最大转速小于20rpm。

7.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该外部加热模块为一加热线圈组，该加热线圈组涵盖该炉体沿着该轴线移动的移动范围。

8.如权利要求1所述的长晶炉系统，更包括一隔热层，包覆该炉体，且连动于该炉体。

9.如权利要求1所述的长晶炉系统，更包括一秤重器，位于该炉体的下方，以秤量该炉体的重量。

10.如权利要求1所述的长晶炉系统，其中该炉体内填充一原料且于该炉体的内顶壁设有一籽晶。

技术总结
一种长晶炉系统，包括一外部加热模块、一炉体、一第一驱动装置、一第二驱动装置以及一控制装置。炉体可运动地设置于外部加热模块之内。第一驱动装置驱动炉体沿一轴线移动。第二驱动装置驱动炉体沿轴线转动。控制装置电性连接于第一驱动装置、第二驱动装置及外部加热模块。

技术研发人员：林钦山,王业钧,刘建成
受保护的技术使用者：环球晶圆股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15