技术编号:36727921
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及灌装设备的,特别是涉及一种高纯电子气体的充装设备。背景技术、在半导体工业中用到的气体统称为电子气体,其主要包括sih、no、 cf、nh、sicl、hcl等,按照纯度分,电子气体一般可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类,高纯气体主要用作稀释气或运载气。、电子气体主要采用钢瓶进行高压存储,并且由于钢瓶内压力较高,电子气体一般以液态存在,该存储状态能够提高气体存储量,钢瓶是由瓶体和角阀组成,瓶体主要用于存储电子气体,而角阀则是作为瓶体的开关结构存在,在进行电子气体...
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