一种高纯电子气体的充装设备的制作方法

本发明涉及灌装设备的，特别是涉及一种高纯电子气体的充装设备。

背景技术：

1、在半导体工业中用到的气体统称为电子气体，其主要包括sih4、n2o2、 c2f6、nh3、sicl4、hcl等，按照纯度分，电子气体一般可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类，高纯气体主要用作稀释气或运载气。

2、电子气体主要采用钢瓶进行高压存储，并且由于钢瓶内压力较高，电子气体一般以液态存在，该存储状态能够提高气体存储量，钢瓶是由瓶体和角阀组成，瓶体主要用于存储电子气体，而角阀则是作为瓶体的开关结构存在，在进行电子气体的充装工作时，需要将角阀与外界输气管道连通，通过输气管道向钢瓶内输入液态气体，而由于角阀内部结构较为复杂，液态气体的流通通道较窄，因此其严重影响充装速度。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本发明提供一种高纯电子气体的充装设备。

2、为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

3、一种高纯电子气体的充装设备，包括钢瓶和密封箱，所述钢瓶顶部安装的角阀拆下，从而使钢瓶顶部显露出较大口径的开口，密封箱底部开设有通口，钢瓶的顶部开口通过通口插入密封箱内，密封箱内设有输送机构，所述输送机构上设有压盘和吸环，所述压盘内部中空，并且压盘底部设置有密封圈，压盘底部中间位置开设有输料口，所述吸环的内壁设置为弧形，并且其弧面与角阀底座的弧面形状一致，并且弧形内壁上密布有吸孔，通过吸孔能够将角阀底座吸附在吸环上，从而将角阀固定在吸环上，所述输送机构能够将压盘和密封圈输送至钢瓶的顶部开口位置，或将吸环输送至钢瓶顶部开口位置；

4、所述密封箱的底部连通设有吸管，吸管的输出端与外界吸泵输入端连通，所述通口与所述钢瓶之间设置有密封结构。

5、优选的，还包括导气结构，所述导气结构用于向压盘内壁输入电子气体，所述导气结构包括竖管，竖管竖直，竖管底部通过密封箱顶部滑动插入密封箱内，密封箱内的竖管侧壁上横向连通设有导气通道，导气通道与压盘连接并相互连通；

6、其中，压盘和吸环在钢瓶轴线左右两侧分布，竖管的轴线偏离钢瓶的轴线。

7、优选的，所述输送结构包括两个第一油缸和两个弧形板，两个第一油缸的固定端均安装在密封箱顶部，两个第一油缸的下侧活动端均伸入至密封箱内侧，其中一个第一油缸的活动端上设置有连接环，连接环转动套装在竖管的外壁上，另一个第一油缸的活动端上竖向设有立柱，立柱的侧壁与吸环的侧壁固定连接；

8、一个弧形板位于竖管的外侧，另一个弧形板位于立柱的外侧，并且两个弧形板的方向相对，弧形板固定在密封箱内壁顶部，弧形板的内壁上开设有螺旋槽，螺旋槽内滑动设有滑柱，滑柱的端部延伸至螺旋槽的外侧，并且滑柱的端部上竖向固定有滑槽板，滑槽板内滑动设有滑块，其中一个滑槽板上的滑块与竖管侧壁固定连接，另一个滑槽板上的滑块与立柱侧壁固定连接，每个滑槽板的外壁上均设有弹片，其中一个弹片与竖管连接，另一个弹片与立柱连接。

9、优选的，所述密封箱由箱体和封装在箱体顶部开口上的箱盖组成，通口开设在箱体的底部，箱盖与箱体之间通过多个第二油缸连接。

10、优选的，所述密封结构包括安装在所述箱体内壁底部的通口上的密封环，密封环圆周外壁的上侧设置为锥形，所述密封环上方设有压环，压环的底面设置为锥形，并且密封环顶部锥形的方向和压环底部锥形的方向相同；

11、所述压环与所述箱体之间通过多个第三油缸连接。

12、优选的，所述钢瓶左右两侧均设置有夹持结构，并且两组夹持结构的方向相反，通过两组夹持结构能够对钢瓶进行固定；

13、所述夹持结构包括滑杆，滑杆朝向钢瓶的端部固定有挤压板，挤压板的前后两侧均转动设有侧压板，侧压板倾斜，并且两个侧压板的倾斜方向相反，滑杆上滑动套设有滑套，滑套侧壁与侧压板侧壁之间通过连接板转动连接；

14、其中，所述滑杆与所述滑套之间通过弹性机构连接。

15、优选的，所述滑杆内部中空，并且滑杆前后侧壁上均横向开设有豁口，所述弹性机构包括滑动安装在滑杆内部的移动座，移动座的前后两端均通过豁口延伸至滑套内壁上，从而使移动座与滑套固定连接，移动座与滑杆之间通过弹簧连接。

16、优选的，所述箱体左右两侧的每个侧壁上均倾斜转动设有两个导向板，两个导向板均向下倾斜，并且两个导向板的底部均转动安装在滑套的上表面；

17、所述箱体左右侧壁上均倾斜转动设有第四油缸，第四油缸的伸出端与一个导向板转动连接；

18、其中，由于箱体的侧壁竖直，而夹持状态的夹持结构内的滑套上表面水平，因此箱体侧壁上两个导向板所组成的图形为梯形。

19、优选的，所述箱体的前后侧壁上均横向设有套管，套管竖向滑动安装在箱体的侧壁上，套管内部左右两侧均滑动设有延伸杆，延伸杆的端部伸出至套管的外侧，延伸杆的端部转动设有连接柱，连接柱的轴线与延伸杆的滑动方向垂直，连接柱安装在箱体侧壁上的一个导向板上。

20、优选的，所述箱盖顶部前后两侧均设有第五油缸，第五油缸的活动端伸入至箱体内，第五油缸的活动端上设有下压板。

21、与现有技术相比本发明的有益效果为：通过采用拆卸钢瓶上角阀的形式，可使钢瓶顶部的开口显露出来，而该开口的口径大于角阀的口径，通过该开口进行电子气体的充装工作，其速度更快，从而大大提高了充装效率，同时配合密封箱内的密封效果，可实现电子气体在密封环境下的快速充装工作，避免空气污染和多余电子气体的泄漏损耗。

技术特征：

1.一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，包括钢瓶和密封箱，所述钢瓶顶部安装的角阀拆下，从而使钢瓶顶部显露出较大口径的开口，密封箱底部开设有通口，钢瓶的顶部开口通过通口插入密封箱内，密封箱内设有输送机构，所述输送机构上设有压盘和吸环，所述压盘内部中空，并且压盘底部设置有密封圈，压盘底部中间位置开设有输料口，所述吸环的内壁设置为弧形，并且其弧面与角阀底座的弧面形状一致，并且弧形内壁上密布有吸孔，通过吸孔能够将角阀底座吸附在吸环上，从而将角阀固定在吸环上，所述输送机构能够将压盘和密封圈输送至钢瓶的顶部开口位置，或将吸环输送至钢瓶顶部开口位置；

2.如权利要求1所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，还包括导气结构，所述导气结构用于向压盘内壁输入电子气体，所述导气结构包括竖管，竖管竖直，竖管底部通过密封箱顶部滑动插入密封箱内，密封箱内的竖管侧壁上横向连通设有导气通道，导气通道与压盘连接并相互连通；

3.如权利要求2所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述输送结构包括两个第一油缸和两个弧形板，两个第一油缸的固定端均安装在密封箱顶部，两个第一油缸的下侧活动端均伸入至密封箱内侧，其中一个第一油缸的活动端上设置有连接环，连接环转动套装在竖管的外壁上，另一个第一油缸的活动端上竖向设有立柱，立柱的侧壁与吸环的侧壁固定连接；

4.如权利要求3所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述密封箱由箱体和封装在箱体顶部开口上的箱盖组成，通口开设在箱体的底部，箱盖与箱体之间通过多个第二油缸连接。

5.如权利要求4所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述密封结构包括安装在所述箱体内壁底部的通口上的密封环，密封环圆周外壁的上侧设置为锥形，所述密封环上方设有压环，压环的底面设置为锥形，并且密封环顶部锥形的方向和压环底部锥形的方向相同；

6.如权利要求5所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述钢瓶左右两侧均设置有夹持结构，并且两组夹持结构的方向相反，通过两组夹持结构能够对钢瓶进行固定；

7.如权利要求6所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述滑杆内部中空，并且滑杆前后侧壁上均横向开设有豁口，所述弹性机构包括滑动安装在滑杆内部的移动座，移动座的前后两端均通过豁口延伸至滑套内壁上，从而使移动座与滑套固定连接，移动座与滑杆之间通过弹簧连接。

8.如权利要求7所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述箱体左右两侧的每个侧壁上均倾斜转动设有两个导向板，两个导向板均向下倾斜，并且两个导向板的底部均转动安装在滑套的上表面；

9.如权利要求8所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述箱体的前后侧壁上均横向设有套管，套管竖向滑动安装在箱体的侧壁上，套管内部左右两侧均滑动设有延伸杆，延伸杆的端部伸出至套管的外侧，延伸杆的端部转动设有连接柱，连接柱的轴线与延伸杆的滑动方向垂直，连接柱安装在箱体侧壁上的一个导向板上。

10.如权利要求9所述的一种高纯电子气体的充装设备，其特征在于，所述箱盖顶部前后两侧均设有第五油缸，第五油缸的活动端伸入至箱体内，第五油缸的活动端上设有下压板。

技术总结
本发明涉及灌装设备的技术领域，特别是涉及一种高纯电子气体的充装设备，其包括钢瓶和密封箱，所述钢瓶顶部安装的角阀拆下，从而使钢瓶顶部显露出较大口径的开口，密封箱底部开设有通口，钢瓶的顶部开口通过通口插入密封箱内，密封箱内设有输送机构，所述输送机构上设有压盘和吸环，所述压盘内部中空，并且压盘底部设置有密封圈；通过采用拆卸钢瓶上角阀的形式，可使钢瓶顶部的开口显露出来，而该开口的口径大于角阀的口径，通过该开口进行电子气体的充装工作，其速度更快，从而大大提高了充装效率，同时配合密封箱内的密封效果，可实现电子气体在密封环境下的快速充装工作，避免空气污染和多余电子气体的泄漏损耗。

技术研发人员：熊旭平,朱建军
受保护的技术使用者：深圳市超纯科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15