技术编号:3676297
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。专利说明[0001]本发明涉及(图案形成方法)。背景技术[0002]UV纳米压印法(nanoimprint method)是对于涂布有抗蚀剂(光固化性组合物)的基材在其表面上压靠具有微细凹凸图案的模具以将该凹凸图案转印于基材上的抗蚀剂膜的图案化方法...
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