技术编号：36812771
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请属于物料储存设备，具体而言，涉及一种适用于硅料储存的复合料架。背景技术、在目前的现代化工业生产中，社会对自动化程度的要求越来越高，在制造领域中不仅要求设备朝着自动控制程度越来越高的数控方向发展，而且要求生产线朝着自动化、黑灯工厂方向进展。在半导体行业的晶圆硅片生产工序中，晶圆硅片在生产备料时，由于该生产工艺的特殊性，目前尚无自动化设备对接，以往都是由人工进行备料；但是人工反复搬运、人工长时间操作容易导致职业病，而且频繁的操作不仅耗人力，在备料过程中还容易出现备料配方错误、产品污染损坏的情...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。