一种适用于硅料储存的复合料架的制作方法

本申请属于物料储存设备，具体而言，涉及一种适用于硅料储存的复合料架。

背景技术：

1、在目前的现代化工业生产中，社会对自动化程度的要求越来越高，在制造领域中不仅要求设备朝着自动控制程度越来越高的数控方向发展，而且要求生产线朝着自动化、黑灯工厂方向进展。在半导体行业的晶圆硅片生产工序中，晶圆硅片在生产备料时，由于该生产工艺的特殊性，目前尚无自动化设备对接，以往都是由人工进行备料；但是人工反复搬运、人工长时间操作容易导致职业病，而且频繁的操作不仅耗人力，在备料过程中还容易出现备料配方错误、产品污染损坏的情况，至此造成生产过程中，自动化程度不高，生产节拍慢，不良率上升等现象。

技术实现思路

1、为了克服上述现有技术中的至少其中一个缺点，本申请的目的在于提供一种适用于硅料储存的复合料架。

2、本申请为了解决上述的技术问题所采用的技术手段是：

3、本申请中提供一种适用于硅料储存的复合料架，包括：

4、第一柜体，所述第一柜体内设置有至少一个储存工位、设置在所述储存工位的进口端的防脱出机构，所述储存工位处设置有输送承载部，所述输送承载部用于水槽件的放置并可对所述水槽件的位置进行调整；所述水槽件内设置有可供运载架放置的储水腔；

5、第二柜体，所述第二柜体与所述第一柜体相并排设置，所述第二柜体上设置有若干可供运载架放置的承载板。

6、本申请实施例方案中，通过并排设置的所述第一柜体、第二柜体形成所述复合料架；其中，在所述第一柜体内设置有储存工位，该储存工位可以用于所述水槽件的临时放置，所述水槽件则可以用于所述运载架的临时放置，使得所述第一柜体可以满足存水工艺要求下的所述运载架的临时存放；在所述第二柜体上则设置有所述承载板，所述承载板可以用于干燥工艺要求下的所述运载架的临时存放。因此，形成的所述复合料架可以同时满足不同工艺要求下的所述运载架的存放，实现线边物料的临时存放，便于提高生产节拍的紧凑性，应用效益更好。

7、在一些实施例方案中，所述防脱出机构包括防脱驱动器和防脱栏杆，所述防脱栏杆与所述防脱驱动器传动连接，所述防脱栏杆可运动至伸入设置在所述水槽件的移动路径上。

8、本申请实施例方案中，通过设置的所述防脱栏杆，可以用于对所述水槽件的移动进行限制，以避免在临时存放状态下，所述水槽件自所述输送承载部上意外脱出而造成生产故障；所述防脱驱动器则用于对所述防脱栏杆的运动进行驱动及控制。

9、在一些实施例方案中，所述输送承载部包括输送驱动器和若干滚筒，所述滚筒与所述输送驱动器传动连接；

10、所述若干滚筒共同形成供所述水槽件放置的承载面；或，所述滚筒上套设有输送带，所述水槽件放置在所述输送带上。

11、本申请实施例方案中，通过设置的所述滚筒，可以提供给所述水槽件一定的移动动力，从而对位于所述承载面或所述输送带上的水槽件的位置进行调整；所述输送驱动器则用于驱动及控制所述滚筒的转动。

12、在一些实施例方案中，所述输送承载部上设置有辅助导向机构，所述辅助导向机构包括呈相对设置的导向轨，所述导向轨的始端朝向外侧弯折以形成扩口。

13、本申请实施例方案中，通过设置的所述辅助导向机构，可以便于提高所述水槽件在进入到所述输送承载部上时的顺畅性，提高作业效率。

14、在一些实施例方案中，所述导向轨上设置有若干辅助滚轮。

15、本申请实施例方案中，通过设置的所述辅助滚轮，既可以提高所述水槽件在进入时的顺畅性，同时也可以降低甚至避免对所述水槽件的外侧面造成接触损伤。

16、在一些实施例方案中，所述储存工位上设置有用于对所述水槽件进行检测的第一感应器、用于对所述水槽件上的数据信息进行读取的第一检测器；

17、所述第一感应器与所述第一检测器电连接。

18、本申请实施例方案中，通过设置的所述第一感应器，可以对进入到所述储存工位的所述水槽件进行检测，以便于触发所述第一检测器进行工作，从而实现对所述储存工位内当前的所述水槽件的数据信息进行读取，可以提高复合料架中物料的应用关联性。

19、在一些实施例方案中，所述储存工位上设置有用于启动所述输送承载部的运作的第二感应器、用于停止所述输送承载部的运作的第三感应器。

20、本申请实施例方案中，通过设置的所述第二感应器和所述第三感应器，可以便于对所述输送承载部的运作进行控制，提高所述输送承载部在应用时的自动化程度。

21、在一些实施例方案中，所述储存工位上设置有用于检测空位信息的第四感应器。

22、本申请实施例方案中，通过设置的所述第四感应器，可以对所述储存工位的当前应用状态进行检测反馈，进一步提高复合料架中物料的应用关联性。

23、在一些实施例方案中，所述输送承载部的下方设置有集水槽，所述集水槽连通设置有排水管道。

24、本申请实施例方案中，通过设置的所述集水槽和排水管道，可以便于对所述储存工位内的积水进行收集和排出，应用效果更好。

25、在一些实施例方案中，所述第一柜体上设置有用于与外部设备进行配合定位的检测槽、用于与外部设备进行交互检测的第五感应器；

26、所述检测槽、第五感应器与所述储存工位相对应设置。

27、本申请实施例方案中，通过设置的所述检测槽和所述第五感应器，可以便于实现所述复合料架与外部设备之间的关联应用，进一步提高生产线的自动化程度。

28、在一些实施例方案中，所述第二柜体上设置有用于对所述运载架上的数据信息进行读取的第二检测器。

29、本申请实施例方案中，通过设置的所述第二检测器，可以对位于所述承载板上的所述运载架进行数据信息读取，使得所述第二柜体上的储存功能与复合料架的控制系统之间亦可形成应用关联。

30、在一些实施例方案中，所述承载板呈上下分层设置，每一所述承载板上设置有至少一个可供所述运载架放置的存放位；

31、所述第二检测器与所述存放位相对应设置。

32、本申请实施例方案中，通过将所述承载板设置为上下分层的形式，可以便于更多的所述运载架的存放；而将所述第二检测器设置为与所述存放位相对应的形式，则可以便于提高对所述存放位的工作状态的管控。

33、在一些实施例方案中，所述第二柜体的底部设置有电控件安装腔，所述电控件安装腔的开口处设置有防护柜门；

34、所述电控件安装腔的底部设置有若干散热风扇。

35、本申请实施例方案中，通过设置的所述电控件安装腔，可以便于实现各电控件在所述第二柜体内的安装设置；同时，通过设置的所述散热风扇，可以对应用中的各电控件进行散热，以使得各电控件在应用时可以具有更好的环境条件。

技术特征：

1.一种适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述防脱出机构包括防脱驱动器和防脱栏杆，所述防脱栏杆与所述防脱驱动器传动连接，所述防脱栏杆可运动至伸入设置在所述水槽件的移动路径上。

3.根据权利要求1或2所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述输送承载部包括输送驱动器和若干滚筒，所述滚筒与所述输送驱动器传动连接；

4.根据权利要求3所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述输送承载部上设置有辅助导向机构，所述辅助导向机构包括呈相对设置的导向轨，所述导向轨的始端朝向外侧弯折以形成扩口。

5.根据权利要求4所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述导向轨上设置有若干辅助滚轮。

6.根据权利要求1或5所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述储存工位上设置有用于对所述水槽件进行检测的第一感应器、用于对所述水槽件上的数据信息进行读取的第一检测器；

7.根据权利要求6所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述储存工位上设置有用于启动所述输送承载部的运作的第二感应器、用于停止所述输送承载部的运作的第三感应器。

8.根据权利要求7所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述储存工位上设置有用于检测空位信息的第四感应器。

9.根据权利要求1或8所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述输送承载部的下方设置有集水槽，所述集水槽连通设置有排水管道。

10.根据权利要求9所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述第一柜体上设置有用于与外部设备进行配合定位的检测槽、用于与外部设备进行交互检测的第五感应器；

11.根据权利要求1或10所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述第二柜体上设置有用于对所述运载架上的数据信息进行读取的第二检测器。

12.根据权利要求11所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述承载板呈上下分层设置，每一所述承载板上设置有至少一个可供所述运载架放置的存放位；

13.根据权利要求1或12所述的适用于硅料储存的复合料架，其特征在于，所述第二柜体的底部设置有电控件安装腔，所述电控件安装腔的开口处设置有防护柜门；

技术总结
本申请属于物料储存设备技术领域，提供一种适用于硅料储存的复合料架，包括第一柜体和第二柜体，所述第一柜体内设置有至少一个储存工位、设置在所述储存工位的进口端的防脱出机构，所述储存工位处设置有输送承载部，所述输送承载部用于水槽件的放置并可对所述水槽件的位置进行调整；所述水槽件内设置有可供运载架放置的储水腔；所述第二柜体与所述第一柜体相并排设置，所述第二柜体上设置有若干可供运载架放置的承载板。本申请方案中提供的所述复合料架，可以同时满足不同工艺要求下的所述运载架的存放，实现线边物料的临时存放，便于提高生产节拍的紧凑性，应用效益更好。

技术研发人员：熊德灵
受保护的技术使用者：慧眼奇智（广州）精密技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/25