技术编号：36818825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于极高真空领域，具体地说是一种复合离子泵的新结构。背景技术、近些年，复合离子泵作为获得超高真空重要手段之一，已获得广泛的发展。neg泵(非蒸发型吸气剂泵)作为一种非蒸发型吸附真空泵，与钛升华器相比，工作时不蒸发额外气体，而是利用材料本身的化学活性，进行表面吸附或者继续引起内部扩散而实现排气。neg泵体积小巧，结构紧凑，被激活后无需电源即可操作。neg泵与离子泵复合，不仅弥补了离子泵在低压下抽速明显下降的短板，而且neg泵对空气、水汽和氢气同样具有极大的抽速，有利于实现更高的极限真空。...
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