一种复合离子泵的新结构

本发明属于极高真空领域，具体地说是一种复合离子泵的新结构。

背景技术：

1、近些年，复合离子泵作为获得超高真空重要手段之一，已获得广泛的发展。neg泵(非蒸发型吸气剂泵)作为一种非蒸发型吸附真空泵，与钛升华器相比，工作时不蒸发额外气体，而是利用材料本身的化学活性，进行表面吸附或者继续引起内部扩散而实现排气。neg泵体积小巧，结构紧凑，被激活后无需电源即可操作。neg泵与离子泵复合，不仅弥补了离子泵在低压下抽速明显下降的短板，而且neg泵对空气、水汽和氢气同样具有极大的抽速，有利于实现更高的极限真空。

2、neg泵与离子泵的复合结构，在大抽速离子泵上较易实现，在小抽速离子泵上因其体积空间小，结构紧凑，同时还要兼顾离子泵的抽口位置和neg电极位置，因此设计neg泵与离子泵的复合泵结构要综合考虑上述因素。

技术实现思路

1、为了满足neg泵与离子泵复合结构析要求，本发明的目的在于提供一种复合离子泵的新结构。

2、本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、本发明包括neg泵、转接筒、法兰接管焊件及离子泵，其中法兰接管焊件的一端与所述离子泵的泵口连接，所述法兰接管焊件的另一端通过转接筒与neg泵的泵芯相连；所述法兰接管焊件包括法兰、接管及neg电极插头，所述接管的一端连接于离子泵的泵口处，所述法兰与接管的另一端相连，所述接管上连接有neg电极插头，所述转接筒的一端与泵芯相连，所述转接筒的另一端安装于法兰上，所述转接筒上开设有用于进气的开口；所述转接筒、法兰及接管依次连通，所述neg电极插头通过连接端子与引线a的一端相连，所述引线的另一端由绝缘陶瓷管穿过后连接至连接柱的一端，所述连接柱的另一端与泵芯上的引线b连接，所述连接柱、绝缘陶瓷管、引线及连接端子均位于转接筒、法兰、接管相连通的内部。

4、其中：所述转接筒的一端为圆环状，所述泵芯插入圆环内，并通过侧面顶丝与转接筒固定。

5、所述圆环外侧面的底部为倒角。

6、所述转接筒轴向截面的左右两侧沿长度方向对称开设有开口。

7、所述neg电极插头焊接于接管的侧面，即所述neg电极插头的轴向中心线与接管的轴向中心线垂直相交。

8、所述neg电极插头为2芯neg电极插头，所述2芯neg电极插头通过连接端子与两根引线a压接在一起，所述绝缘陶瓷管穿过两根引线a，起到绝缘所述两根引线a的作用。

9、本发明的优点与积极效果为：

10、本发明解决了neg泵与小抽速离子泵复合，因小抽速离子泵体积空间小、结构紧凑，同时还要兼顾离子泵的抽口位置和neg电极位置，不便增加抽口的难题。同时，本发明为neg泵与小抽速离子泵的复合泵结构提供了一种新结构。

技术特征：

1.一种复合离子泵的新结构，其特征在于：包括neg泵、转接筒(9)、法兰接管焊件及离子泵(13)，其中法兰接管焊件的一端与所述离子泵(13)的泵口连接，所述法兰接管焊件的另一端通过转接筒(9)与neg泵的泵芯(7)相连；所述法兰接管焊件包括法兰(10)、接管(11)及neg电极插头(12)，所述接管(11)的一端连接于离子泵(13)的泵口处，所述法兰(10)与接管(11)的另一端相连，所述接管(11)上连接有neg电极插头(12)，所述转接筒(9)的一端与泵芯(7)相连，所述转接筒(9)的另一端安装于法兰(10)上，所述转接筒(9)上开设有用于进气的开口(15)；所述转接筒(9)、法兰(10)及接管(11)依次连通，所述neg电极插头(12)通过连接端子(6)与引线a(5)的一端相连，所述引线(5)的另一端由绝缘陶瓷管(4)穿过后连接至连接柱(2)的一端，所述连接柱(2)的另一端与泵芯(7)上的引线b连接，所述连接柱(2)、绝缘陶瓷管(4)、引线(5)及连接端子(6)均位于转接筒(9)、法兰(10)、接管(11)相连通的内部。

2.根据权利要求1所述复合离子泵的新结构，其特征在于：所述转接筒(9)的一端为圆环状，所述泵芯(7)插入圆环内，并通过侧面顶丝(8)与转接筒(9)固定。

3.根据权利要求2所述复合离子泵的新结构，其特征在于：所述圆环外侧面的底部为倒角(14)。

4.根据权利要求1所述复合离子泵的新结构，其特征在于：所述转接筒(9)轴向截面的左右两侧沿长度方向对称开设有开口(15)。

5.根据权利要求1所述复合离子泵的新结构，其特征在于：所述neg电极插头(12)焊接于接管(11)的侧面，即所述neg电极插头(12)的轴向中心线与接管(11)的轴向中心线垂直相交。

6.根据权利要求1所述复合离子泵的新结构，其特征在于：所述neg电极插头(12)为2芯neg电极插头，所述2芯neg电极插头通过连接端子(6)与两根引线a(5)压接在一起，所述绝缘陶瓷管(4)穿过两根引线a(5)，起到绝缘所述两根引线a(5)的作用。

技术总结
本发明属于极高真空领域，具体地说是一种复合离子泵的新结构，包括离子泵、法兰接管焊件、转接筒、连接端子、引线、绝缘陶瓷管、连接柱及NEG泵芯，法兰接管焊件包含法兰、接管和2芯NEG电极插头；离子泵采用SKY20L泵，将泵口更换为法兰接管焊件；NEG泵芯采用SaesD400泵芯；法兰接管焊件中的2芯插头通过连接端子与引线压接在一起；绝缘陶瓷管穿过两个引线，起到绝缘作用；连接柱连接引线和NEG泵芯两插头，通过沉头螺钉固定；NEG电极插头复合在离子泵口上，集成NEG激活和离子泵抽气功能。本发明解决了小抽速离子泵空间紧凑，不便增加抽口的难题。本发明结构简单，安装便利，为复合离子泵结构的优化提供了一种新结构。

技术研发人员：张颖志,汪良,王启佳,袁方,叶琳琳
受保护的技术使用者：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/25