技术编号：36857026
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及一种运输装置。背景技术、半导体装置的制造涉及使用各种高科技生产及计量工具以一定的次序并且通常在一定的时间周期内实行一系列工艺步骤。在晶圆制作设施或厂区(fab)中，晶圆物流系统的主要功能是在正确的时间将晶圆递送至工具中的每一者，以及在整个工艺中追踪晶圆的位置及状态。将自动化物料搬运系统(automated material handling system，amhs)应用于晶圆厂区，以与可通过人工手段进行相较更高效、一致且安全地施行自动化功能。制作工艺经常导致需要在单个厂区内进行跨阶段...
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