技术编号:36966111
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产,尤其涉及一种合成料气体解吸分离装置。背景技术、改良西门子法生产多晶硅过程中,冷氢化工段的合成料是在高温高压的条件下由硅粉、四氯化硅、氢气反应合成的,在高压的条件下,大量的氢气溶解在合成料中,这部分合成料直接送往精馏塔进行分离四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅等组分,由于合成料中溶解有大量的氢气,会在精馏塔中进行解吸,导致精馏塔操作压力不稳定、泄压量大,给精馏塔的操作带来困难,同时解吸出的氢气进入尾气排放系统,没有有效回收,造成浪费,增加了生产成本和精馏塔操作控制的难度。技术实...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。