技术编号:37008833
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密运动控制领域,涉及一种超精密运动台垂向三自由度静态解耦与前馈联合迭代校正方法。背景技术、多自由度超精密运动台是高端半导体制造或测试设备的关键部件,其控制主要包括解耦、反馈控制和前馈控制三个基本步骤。解耦的基本目的是根据运动台的执行器布局建立静态控制解耦矩阵,实现从逻辑轴控制力或力矩到物理轴电机出力的转换。在此基础上,可对运动台各自由度分别进行反馈和前馈控制设计。反馈控制的目的是使各自由度的闭环控制系统稳定,前馈控制主要用于补偿跟踪参考轨迹引起的伺服误差。其中,解耦与前馈控制性能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。