技术编号:37076972
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于外延炉测量工具,具体是一种外延炉旋转轴安装高度测量工具。背景技术、外延炉是半导体材料加工过程中重要的设备之一,目前商业化的气相沉积用外延炉,大部分为水平行星式反应室外延炉,其反应室内设置有大盘,大盘上设置若干用于放置衬底的小盘基座。、然而现在外延炉在使用过程中,在对机台的旋转轴进行安装过程中,通常使用钢尺去测量旋转轴的安装高度,这样虽然操作简单,但是误差极大,这个误差将会在后续外延炉的使用过程产生极大影响,不利于外延炉的正常工作。、因此,需要一种外延炉旋转轴安装高度测量工具,以解...
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