一种外延炉旋转轴安装高度测量工具的制作方法

本技术属于外延炉测量工具，具体是一种外延炉旋转轴安装高度测量工具。

背景技术：

1、外延炉是半导体材料加工过程中重要的设备之一，目前商业化的气相沉积用外延炉，大部分为水平行星式反应室外延炉，其反应室内设置有大盘，大盘上设置若干用于放置衬底的小盘基座。

2、然而现在外延炉在使用过程中，在对机台的旋转轴进行安装过程中，通常使用钢尺去测量旋转轴的安装高度，这样虽然操作简单，但是误差极大，这个误差将会在后续外延炉的使用过程产生极大影响，不利于外延炉的正常工作。

3、因此，需要一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，以解决上述背景技术中提出现有技术的外延炉在使用过程中，在对机台的旋转轴进行安装过程中，通常使用钢尺去测量旋转轴的安装高度，这样虽然操作简单，但是误差极大，这个误差将会在后续外延炉的使用过程产生极大影响，不利于外延炉的正常工作，因此，需要一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，以解决上述技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，包括卡圈、伸缩筒和伸缩杆，所述伸缩筒与所述卡圈滑动连接，所述伸缩杆与所述伸缩筒滑动连接，所述伸缩筒上设有插设在所述卡圈内的插筒，所述插筒外侧设有第一刻度线，通过驱动所述插筒沿着所述卡圈滑动来改变所述插筒与所述卡圈顶面之间的距离，并通过所述第一刻度线来进行读数；

4、所述伸缩杆插设在所述伸缩筒内，并延伸到所述卡圈内，所述伸缩杆端部固定安装有沿所述卡圈内壁滑动的底座，通过驱动所述伸缩杆来改变所述底座与所述卡圈顶面之间的距离，并通过设置在所述伸缩杆外壁的第二刻度线来进行读数；

5、所述卡圈通过套设在旋转轴外侧来进行定位，并通过所述第一刻度线和所述第二刻度线的读数来确定所述旋转轴的安装高度。

6、在进一步的实施例中，所述伸缩筒内开设有相互垂直并贯通的按压腔和锁定腔，所述按压腔和所述锁定腔内设有锁定机构，所述卡圈内壁开设有若干锁孔，所述锁定机构通过与所述锁孔配合，将调节到位的所述插筒固定到所述卡圈内，方便后续对所述旋转轴的安装高度进行确定；所述伸缩筒开设有伸缩通道、驱动腔和传动腔，其中：所述伸缩杆插设在所述伸缩通道内，且沿着所述伸缩通道滑动；所述驱动腔和所述传动腔相互垂直并贯通，且内部设有驱动机构，所述驱动机构用来驱动所述伸缩杆沿着所述伸缩通道滑动，以实现对所述旋转轴安装高度的精确确定。

7、在进一步的实施例中，所述锁定机构包括按压杆、锁块和复位机构，其中：所述按压杆插设在所述按压腔内，且延伸到所述锁定腔内，所述按压杆用于驱动所述锁块；所述锁块滑动连接在所述锁定腔内，且端部延伸出所述锁定腔，所述锁块通过插入所述锁孔来将调节到位的所述插筒固定到所述卡圈内；所述复位机构设置在所述锁定腔内，且用来驱动所述锁块插入所述锁孔内；所述按压杆通过驱动所述锁块脱离所述锁孔，并沿着所述锁定腔克服所述复位机构的压力滑动，待所述插筒调节到位后，所述复位机构驱动所述锁块重新插入所述锁孔内，将所述插筒固定到所述卡圈内。

8、在进一步的实施例中，所述锁定机构还包括第一限位块、斜面、凹槽和第二限位块，其中：所述第一限位块设置在所述按压杆上，且用来防止所述按压杆脱离所述按压腔；所述斜面设置在所述按压杆上，所述凹槽开设在所述锁块上，所述按压杆驱动所述斜面沿着所述凹槽滑动，以带动所述锁块沿着所述锁定腔滑动；所述第二限位块设置在所述锁块上，且用来防止所述锁块脱离所述锁定腔。

9、在进一步的实施例中，所述复位机构包括弹簧和阻尼器，所述弹簧和所述阻尼器设置在所述锁定腔内，且位于所述锁块与所述锁定腔内壁之间；所述伸缩杆上设有滑块，所述伸缩筒上开设有与所述滑块对应且匹配的滑动槽，所述伸缩杆通过所述滑块和所述滑动槽，来维持沿着所述伸缩通道滑动过程中的稳定性。

10、在进一步的实施例中，所述驱动机构包括驱动轴、主动锥形齿、从动锥形齿、传动轴和齿轮，其中：所述驱动轴通过轴承转动连接在所述驱动腔内，且延伸到所述传动腔内，所述驱动轴用来驱动所述主动锥形齿；所述主动锥形齿固定安装在所述驱动轴端部，且用来驱动所述从动锥形齿；所述从动锥形齿与所述主动锥形齿啮合连接，且通过所述传动轴来驱动所述齿轮；所述传动轴通过轴承转动连接在所述传动腔内，所述齿轮用来驱动所述伸缩杆沿着所述伸缩通道滑动，以实现对所述旋转轴安装高度的精确确定。

11、在进一步的实施例中，所述驱动机构还包括转盘、把手和齿条，其中：所述转盘固定安装在所述驱动轴端部，且用来驱动所述驱动轴转动；所述把手设置在所述转盘上，且用来驱动所述转盘；所述齿条设置在所述伸缩杆上，且与所述齿轮对应且啮合连接，所述齿轮通过所述齿条驱动所述伸缩杆沿着所述伸缩通道滑动。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、第一、本实用新型中通过驱动插筒沿着卡圈滑动和伸缩杆沿着伸缩筒滑动，来改变底座与卡圈顶面之间的距离，并通过第一刻度线和第二刻度线来确定旋转轴的的安装高度，不仅方便准确定位旋转轴的安装高度，而且具有很大的安装精度，降低旋转轴的安装误差，维持外延炉的正常工作。

14、第二、本实用新型中当需要对不同的旋转轴进行高度定位时，驱动插筒沿着卡圈移动，待通过第一刻度线观察到调节到位后，通过锁定机构与锁孔的配合，可以将插筒固定到卡圈内，方便后续对旋转轴的安装高度进行确定。

15、第三、本实用新型中通过驱动机构可以驱动伸缩杆沿着伸缩通道滑动，更加精确的对旋转轴的安装高度进行精确调整并确定，提高了装置的测量精确度，进一步降低旋转轴的安装误差，维持外延炉的正常工作；滑块和滑动槽的设置，便于维持伸缩杆沿着伸缩通道滑动过程中的稳定性。

技术特征：

1.一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，包括卡圈(1)、伸缩筒(2)和伸缩杆(3)，所述伸缩筒(2)与所述卡圈(1)滑动连接，所述伸缩杆(3)与所述伸缩筒(2)滑动连接，其特征在于：所述伸缩筒(2)上设有插设在所述卡圈(1)内的插筒(21)，所述插筒(21)外侧设有第一刻度线(22)，通过驱动所述插筒(21)沿着所述卡圈(1)滑动来改变所述插筒(21)与所述卡圈(1)顶面之间的距离，并通过所述第一刻度线(22)来进行读数；

2.根据权利要求1所述的一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，其特征在于：所述伸缩筒(2)内开设有相互垂直并贯通的按压腔(24)和锁定腔(25)，所述按压腔(24)和所述锁定腔(25)内设有锁定机构(4)，所述卡圈(1)内壁开设有若干锁孔(11)，所述锁定机构(4)通过与所述锁孔(11)配合，将调节到位的所述插筒(21)固定到所述卡圈(1)内，方便后续对所述旋转轴的安装高度进行确定；

3.根据权利要求2所述的一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，其特征在于：所述锁定机构(4)包括按压杆(41)、锁块(44)和复位机构，其中：

4.根据权利要求3所述的一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，其特征在于：所述锁定机构(4)还包括第一限位块(42)、斜面(43)、凹槽(45)和第二限位块(46)，其中：

5.根据权利要求4所述的一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，其特征在于：所述复位机构包括弹簧(47)和阻尼器(48)，所述弹簧(47)和所述阻尼器(48)设置在所述锁定腔(25)内，且位于所述锁块(44)与所述锁定腔(25)内壁之间；

6.根据权利要求2所述的一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，其特征在于：所述驱动机构(5)包括驱动轴(51)、主动锥形齿(54)、从动锥形齿(55)、传动轴(56)和齿轮(57)，其中：

7.根据权利要求6所述的一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，其特征在于：所述驱动机构(5)还包括转盘(52)、把手(53)和齿条(58)，其中：

技术总结
本技术公开了一种外延炉旋转轴安装高度测量工具，属于外延炉测量工具技术领域，包括卡圈、伸缩筒和伸缩杆，伸缩筒与卡圈滑动连接，伸缩杆与伸缩筒滑动连接，伸缩筒上设有插设在卡圈内的插筒，插筒外侧设有第一刻度线，通过驱动插筒沿着卡圈滑动来改变插筒与卡圈顶面之间的距离，并通过第一刻度线来进行读数；伸缩杆插设在伸缩筒内，并延伸到卡圈内，伸缩杆端部固定安装有沿卡圈内壁滑动的底座，通过驱动伸缩杆来改变底座与卡圈顶面之间的距离，并通过设置在伸缩杆外壁的第二刻度线来进行读数；卡圈通过套设在旋转轴外侧来进行定位，并通过第一刻度线和第二刻度线的读数来确定旋转轴的安装高度。

技术研发人员：张健,陆军,黄喜,王俊杰,谭贞雄,曹建平
受保护的技术使用者：上海晶盟硅材料有限公司
技术研发日：20230804
技术公布日：2024/2/19