一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台的制作方法技术资料下载

技术编号:37077038

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本发明涉及样品台技术,具体涉及一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台。背景技术、扫描电子显微镜(sem),简称为扫描电镜,其是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察用电子设备,其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电镜检测,简称sem检测,是利用扫描电镜进行检测的一种测试方法,是可以将样品表面放大倍至万倍。、公开号为cna的中国发明专利中...
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