一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台的制作方法

本发明涉及样品台技术，具体涉及一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台。

背景技术：

1、扫描电子显微镜(sem)，简称为扫描电镜，其是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察用电子设备，其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电镜检测，简称sem检测，是利用扫描电镜进行检测的一种测试方法，是可以将样品表面放大25倍至100万倍。

2、公开号为cn115598161a的中国发明专利中，公开了一种用于冷冻扫描电镜的样品台及其制样方法，该用于冷冻扫描电镜的样品台及其制样方法，本发明的基座上可直接粘贴大块样品，因为棱柱的支撑在液氮速冻时不至于掉落样品；棱柱上可粘贴需要观察断面的样品，空间大，操作方便；本发明装置适用于大块样品(包括含水木材、含水岩石等)、断面样品的冷冻扫描电镜观察分析，且具有结构简单，使用操作方便等优点。

3、公开号为cn110071029a的中国发明专利中，公开了一种扫描电镜样品台，该用于一种扫描电镜样品台，可根据角度需要选择相应的承载模块与基座组合，即可实现对多个样品同时进行多个任意角度的扫描电镜测试，解决了扫描电镜样品测试时角度变换困难、耗时的问题，本发明不需要夹具和转轴等较为复杂的部件，即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的，兼具平面和截面测试功能，能够减少放真空-换样-抽真空的等待时间，提高实验和生产检验中的测试效率，本发明设计简单，易加工，易操作。但在使用过程中需要手动进行操作，使得在使用时较为繁琐。

4、目前常见的样品台，其功能单一，一般情况下，当对样品进行其他方位检测时，则需要翻转样品台，使样品台翻转，使其达到检测所需要的标准，体积大或重量大的样品由于重力原因很容易掉落，此外基于样品本身大小的多样性也需要灵活调节高度，从而开发了一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，包括连接座，所述连接座的上端设置有活动组件，且所述活动组件的上端设置有定位组件，所述定位组件的上端设置有样品台；

3、活动组件，用于对所述定位组件的角度进行调节；

4、定位组件，用于对样品台进行固定；

5、其中，所述活动组件包括与所述连接座连接的固定柱，所述固定柱的外表面滑动安装有定位环，且所述定位环的外表面开设有环形槽，所述环形槽的内壁滑动安装有调节块，所述定位环的上端设置有圆环，所述圆环的内壁开设有滑槽，所述滑槽的内壁滑动安装有驱动杆，所述驱动杆的外表面转动安装有限位管，所述限位管外表面与所述固定柱固定连接，所述驱动杆的上端固定安装有支撑杆，所述支撑杆与所述定位组件的下端固定连接。

6、作为本发明的进一步优化方案，所述连接座的上端且位于所述调节块的一侧设置有驱动件，且所述驱动件的输出端与所述调节块连接。

7、作为本发明的进一步优化方案，所述定位组件包括与所述支撑杆固定连接的底板，所述底板的外表面设置有多组定位块，且多组所述定位块均匀地分布于所述底板的外表面。

8、作为本发明的进一步优化方案，所述定位块的上端斜面，且所述定位块的上端开设有槽孔。

9、作为本发明的进一步优化方案，所述定位块的上端滑动安装有卡接块，所述卡接块的下端设置与所述定位块上端相贴合的斜面。

10、作为本发明的进一步优化方案，所述卡接块的下端设置有固定杆，同时所述固定杆的外表面与所述槽孔的内壁滑动连接，所述卡接块的上端固定安装有支撑板，所述支撑板的上端与样品台的下端滑动连接。

11、与现有技术相比，本发明提供的一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，当需要对活动组件的角度进行调整时，通过调节块带动定位环向下移动，并拉动圆环同步向下移动，由于圆环内壁滑槽的内壁滑动设置有驱动杆，其中驱动杆与滑槽的接触部分为球状，且滑槽的内壁与球状相贴合的弧形槽，使得在圆环向下移动时，带动驱动杆的一端向下移动，进而使驱动杆绕着限位管的内壁进行转动，同时位于驱动杆另一端的支撑杆的角度随之调整，并达到最佳的检测角度，保证在对样品进行检测时的稳定性，同时支撑杆还可以采用电动伸缩杆等具有伸缩功能的部件，并与外部控制装置连接，使得整个定位组件通过支撑杆进行上下移动，从而实现高度调节，并且满足在不同需求下的检测；

12、同时定位块上端的斜面处设置有凸起，与凸起的中间部位开设槽孔，同时卡接块的下端开设有与凸块相对应的凹槽，且凹槽的内壁与凸起的外表面滑动连接，当卡接块与定位块对接时，凹槽的内壁与凸块的外表面卡接并向下移动，直至卡接块与定位块完全贴合，从而使得在对样品进行检测的过程中，不会产生晃动或偏移的情况。

技术特征：

1.一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，其特征在于，包括连接座(1)，所述连接座(1)的上端设置有活动组件(2)，且所述活动组件(2)的上端设置有定位组件(3)，所述定位组件(3)的上端设置有样品台(12)；

2.根据权利要求1所述的一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，其特征在于，所述连接座(1)的上端且位于所述调节块(23)的一侧设置有驱动件(29)，且所述驱动件(29)的输出端与所述调节块(23)连接。

3.根据权利要求1所述的一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，其特征在于，所述定位组件(3)包括与所述支撑杆(28)固定连接的底板(31)，所述底板(31)的外表面设置有多组定位块(32)，且多组所述定位块(32)均匀地分布于所述底板(31)的外表面。

4.根据权利要求3所述的一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，其特征在于，所述定位块(32)的上端斜面，且所述定位块(32)的上端开设有槽孔(36)。

5.根据权利要求4所述的一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，其特征在于，所述定位块(32)的上端滑动安装有卡接块(33)，所述卡接块(33)的下端设置与所述定位块(32)上端相贴合的斜面。

6.根据权利要求5所述的一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，其特征在于，所述卡接块(33)的下端设置有固定杆(35)，同时所述固定杆(35)的外表面与所述槽孔(36)的内壁滑动连接，所述卡接块(33)的上端固定安装有支撑板(34)，所述支撑板(34)的上端与样品台(12)的下端滑动连接。

技术总结
本发明公开了一种高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，涉及样品台技术领域，包括连接座，连接座的上端设置有活动组件，且活动组件的上端设置有定位组件，定位组件的上端设置有样品台；活动组件，用于对定位组件的角度进行调节；定位组件，用于对样品台进行固定；该高度可调节式多角度多样品扫描电镜样品台，通过驱动杆绕着限位管的内壁进行转动，位于驱动杆另一端的支撑杆角度随之调整，并达到最佳的检测角度，保证在对样品进行检测时的稳定性，同时支撑杆可采用电动伸缩杆等具有伸缩功能的部件，使得整个定位组件通过支撑杆进行上下移动，从而实现高度调节，并且满足在不同需求下的检测。

技术研发人员：尹丹丹,曹媛
受保护的技术使用者：中国林业科学研究院
技术研发日：
技术公布日：2024/2/19