技术编号：37099007
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及蒸镀，尤其涉及一种蒸发舟夹紧机构。背景技术、真空镀膜设备中将蒸发舟的两端连接电极，并借助电极对蒸发舟施加电压和电流，使其由于电阻效应而发热。现有技术中，如cnu，其公开的蒸发舟夹紧机构在使用时，采用快速拆卸的压紧件对蒸发舟的夹紧端固定，并贴合电极，并配合压紧杆，保持夹紧力。、但是，蒸发舟在使用过程中会产生大量热量，发生热膨胀，而蒸发舟与夹紧装置的刚性固定，反而容易使得蒸发舟发生断裂，降低其使用寿命。技术实现思路、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。