蒸发舟夹紧机构的制作方法

本技术涉及蒸镀，尤其涉及一种蒸发舟夹紧机构。

背景技术：

1、真空镀膜设备中将蒸发舟的两端连接电极，并借助电极对蒸发舟施加电压和电流，使其由于电阻效应而发热。现有技术中，如cn213357725u，其公开的蒸发舟夹紧机构在使用时，采用快速拆卸的压紧件对蒸发舟的夹紧端固定，并贴合电极，并配合压紧杆，保持夹紧力。

2、但是，蒸发舟在使用过程中会产生大量热量，发生热膨胀，而蒸发舟与夹紧装置的刚性固定，反而容易使得蒸发舟发生断裂，降低其使用寿命。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种蒸发舟夹紧机构，方便对蒸发舟进行装配的同时，能够适应蒸发舟的热膨胀。

2、本实用新型的技术方案如下：

3、一种蒸发舟夹紧机构，包括

4、电极件，包括第一电极件和第二电极件，用于分别与电极的正极和负极电性连接；

5、安装座，滑动连接在至少其中一个电极件上，用于承载蒸发舟，并保持与蒸发舟、电极件的电性接触导通，安装座与电极件具备配合间隙，便于后续能够产生微量滑移；

6、压紧件，用于对蒸发舟施加一定的压紧力，使得蒸发舟紧密贴合至安装座，并使得安装座底部也能够贴合电极件表面。

7、由于蒸发舟未在其活动侧(长度方向)设置刚性的限制结构，且安装座也能够自由滑动，依靠压紧件的挤压力对蒸发舟进行夹紧紧固，在保证一定的装配牢靠性、电性接触的同时，能够较好的适应蒸发舟热膨胀带来的形变，降低蒸发舟舟体因无法形变造成的开裂。

8、进一步的，在电极件上开设有与安装座宽度匹配的装配槽，装配槽内端侧开设有滑槽，并在安装座两侧对应的成型有滑块，滑块厚度小于滑槽的厚度。

9、进一步的，安装座对应蒸发舟成型有置放槽。

10、进一步的，压紧件为一按压锁紧杆，按压锁紧杆与蒸发舟作用端设置为一可转动的压紧部，并在电极件上对应装配槽固定有转动座，压紧部枢接在转动座上，压紧部外周转动过程中部分作用在蒸发舟上表面，对蒸发舟表面施加作用力。

11、本实例中，压紧部为一椭圆，其外周转动轨迹在靠近长径端附近能够与蒸发舟表面接触，产生挤压力。压紧部与蒸发舟接触的表面应当设置为光滑，如采用陶瓷材料。

12、进一步的，压紧件是朝向安装座调节的调节螺栓。

13、进一步的，在压紧件与蒸发舟间设置光滑压板。

14、进一步的，在蒸发舟与安装座接触面设置导电填充。

15、设置导电填充，其本身还具有一定的弹性，也能够适应厚度方向的微小膨胀形变。

16、进一步的，在第一电极件和安装座间设置导电软连接，用于将安装座与第一电极件电性连通。

17、本实用新型中的有益效果：基于可滑动连接的蒸发舟安装座，并配合压紧件，避免了传统的刚性限位固定，能够使得蒸发舟在使用过程中，适应热膨胀，产生微量位移，进而可减少热膨胀无法释放导致的开裂问题。

技术特征：

1.一种蒸发舟夹紧机构，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：在电极件上开设有与安装座宽度匹配的装配槽，装配槽内端侧开设有滑槽，并在安装座两侧对应的成型有滑块，滑块厚度小于滑槽的厚度。

3.根据权利要求2所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：安装座对应蒸发舟成型有置放槽。

4.根据权利要求3所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：压紧件为一按压锁紧杆，按压锁紧杆与蒸发舟作用端设置为一可转动的压紧部，并在电极件上对应装配槽固定有转动座，压紧部枢接在转动座上，压紧部外周转动过程中部分作用在蒸发舟上表面，对蒸发舟表面施加作用力。

5.根据权利要求3所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：压紧件是朝向安装座调节的调节螺栓。

6.根据权利要求4或5所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：在压紧件与蒸发舟间设置光滑压板。

7.根据权利要求6所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：在蒸发舟与安装座接触面设置导电填充。

8.根据权利要求7所述的蒸发舟夹紧机构，其特征在于：在第一电极件和安装座间设置导电软连接，用于将安装座与第一电极件电性连通。

技术总结
本技术公开了一种蒸发舟夹紧机构，包括电极件，包括第一电极件和第二电极件，用于分别与电极的正极和负极电性连接；安装座，滑动连接在至少其中一个电极件上，用于承载蒸发舟，并保持与蒸发舟、电极件的电性接触导通，安装座与电极件具备配合间隙，便于后续能够产生微量滑移；压紧件，用于对蒸发舟施加一定的压紧力，使得蒸发舟紧密贴合至安装座，并使得安装座底部也能够贴合电极件表面。本技术基于可滑动连接的蒸发舟安装座，并配合压紧件，避免了传统的刚性限位固定，能够使得蒸发舟在使用过程中，适应热膨胀，产生微量位移，进而可减少热膨胀无法释放导致的开裂问题。

技术研发人员：刘志康,吴明忠,伽龙
受保护的技术使用者：浙江柔震科技有限公司
技术研发日：20230825
技术公布日：2024/2/21