技术编号：37107054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及六氟丁二烯制备，特别涉及一种六氟丁二烯的合成工艺。背景技术、六氟丁二烯(cf，又称六氟-,-丁二烯)是一种新型的蚀刻气，具有优良的蚀刻性能，从而作为电子特气从属于电子工业体系。电子特气是整个电子工业体系的核心关键原材料之一，在半导体行业、新型太阳能电池等方面有着极其广泛的应用。与传统的等离子蚀刻气cf、cf、cf、nf相比，cf有着更快地蚀刻速度、更好的选择性和深宽比的特点，用于低k介电常数的整流线路板生产用的刻蚀时，关键尺寸的精度能够达到nm，此外，六...
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