技术编号：37117211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体生产，具体涉及一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法及装置。背景技术、对半导体生产线的布局需要考虑的因素较多，例如设备配置、布局方案、设备性能等，每个因素均可以形成对半导体生产线布局进行评价的指标。不同半导体型号的生产场景，侧重的评价指标也不相同。、半导体生产线布局数据量巨大，针对评价指标的运算需要大量的运算资源，也限制了评价技术的实用性。动力设施的布局决定了整个半导体生产线的投资成本。现有的评价通常还是完全凭借设计师经验对动力设施布局进行优劣判断，无法做到量化评价。生产...
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