一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法及装置与流程

本发明属于半导体生产，具体涉及一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法及装置。

背景技术：

1、对半导体生产线的布局需要考虑的因素较多，例如设备配置、布局方案、设备性能等，每个因素均可以形成对半导体生产线布局进行评价的指标。不同半导体型号的生产场景，侧重的评价指标也不相同。

2、半导体生产线布局数据量巨大，针对评价指标的运算需要大量的运算资源，也限制了评价技术的实用性。动力设施的布局决定了整个半导体生产线的投资成本。现有的评价通常还是完全凭借设计师经验对动力设施布局进行优劣判断，无法做到量化评价。生产设备布局与动力设置的布置相互影响，均决定半导体生产线的建造和运维成本。

3、也有研究结合自动评价规则及专家打分进行半导体装配生产线布局的评价。例如专利cn116484795a给出一种多芯片组件装配生产线的布局生成系统及方法，包括数据管理、生产线业务流程设计、布局设计业务规则提取、生产线布局方案模型生成、自动评价、专家决策、布局方案展示与输出，利用预先生成的业务规则，结合数据集完成生产线布局方案模型的生成，再进一步结合规则完成自动评价、专家决策，生成符合要求的生产线布局。该方案可显著提升多芯片组件装配生产线布局设计效率及合理度，降低布局设计成本，减少布局设计不合理造成的生产线建设与运行成本。

4、然而，如上述技术中结合自动评价规则和专家打分的评估方式会致使数据处理繁杂，影响到产线布局、优化的效率。

5、因此，如何对基于动力设施给出半导体生产线布局评价方案，既能保证评价的可靠性，又能提升评价效率，以实现对半导体生产线布局的智能评估和管理是本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、针对上述现有技术中存在的缺陷，本发明提供了一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法及装置，获取半导体生产线的动力供应类别，以及对应的动力需求设备布局信息；分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数；给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度；基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局；融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度，完成基于计及动力设施的半导体生产线布局的评价。本发明同时考虑半导体生产线布局中的动力需求设备与动力供应系统，并分别根据各个权重因子，准确实现半导体生产线布局的评价。

2、第一方面，本发明提供一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，具体包括如下步骤：

3、获取半导体生产线的动力供应类别，以及对应的动力需求设备布局信息；

4、分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数；

5、给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度；

6、基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局；

7、融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度，完成基于动力设施的半导体生产线布局的评价。

8、进一步的，半导体生产线的动力供应类别包括电、超纯水、冷却水、排风及气体。

9、进一步的，分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数，具体包括如下步骤：

10、获取半导体生产线的工艺制程；

11、将每个动力需求设备与各个工艺制程进行匹配；

12、给出每个动力需求设备的初始需求用量；

13、采集每个动力需求设备的实际动力用量；

14、基于每个动力需求设备的初始需求用量及实际动力用量，给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数。

15、进一步的，给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度，具体包括如下步骤：

16、获取每种动力供应类别下各个动力需求设备的位置信息；

17、结合每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数，给出每种动力供应类别的需求中心；

18、获取每种动力供应类别下各个动力需求设备与对应需求中心的物理距离；

19、结合每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数及设备数量，给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度。

20、进一步的，每种动力供应类别的需求中心，具体表示为：

21、

22、其中，i为动力供应类别的种类编号，m为动力供应类别的种类总值，n为i动力供应类别种动力需求设备的总值，为i动力供应类别的需求中心横坐标，αi,1为i动力供应类别中第1个动力需求设备的需求系数，xi,1为i动力供应类别中第1个动力需求设备的横坐标，αi,n为i动力供应类别中第n个动力需求设备的需求系数，xi,n为i动力供应类别中第n个动力需求设备的横坐标，为i动力供应类别的需求中心纵坐标，yi,1为i动力供应类别中第1个动力需求设备的纵坐标，yi,n为i动力供应类别中第n个动力需求设备的纵坐标。

23、进一步的，结合每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数及设备数量，给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度，具体表示为：

24、

25、其中，cui为i动力供应类别的动力需求设备集中度，i为动力供应类别的种类编号，j为i动力供应类别中动力需求设备的编号，n为i动力供应类别种动力需求设备的总值，αi,j为i动力供应类别中第j个动力需求设备的需求系数，为i动力供应类别的需求中心横坐标，xi,j为i动力供应类别中第j个动力需求设备的横坐标，为i动力供应类别的需求中心纵坐标，yi,j为i动力供应类别中第j个动力需求设备的纵坐标。

26、进一步的，基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局，具体包括如下步骤：

27、获取每种动力供应类别的动力供应系统的初始位置；

28、基于每种动力供应类别的动力需求设备集中度，结合每种动力供应类别的权重，给出对应该动力供应类别的动力供应系统的理想位置；

29、基于动力供应系统的初始位置及动力供应系统的理想位置，对每种动力供应类别的动力供应系统布局进行偏移度分析，并调整动力供应系统的布局。

30、进一步的，对每种动力供应类别的动力供应系统布局进行偏移度分析，并调整动力供应系统的布局，具体包括如下步骤：

31、获取每种动力供应类别的动力供应系统布局对应的偏移度，其中，偏移度具体表示为：

32、

33、其中，ki为i动力供应类别的动力供应系统布局的偏移度，xi为i动力供应类别的动力供应系统布局中心的横坐标，为i动力供应类别的动力供应系统理想中心的横坐标，yi为i动力供应类别的动力供应系统布局中心的纵坐标，为i动力供应类别的动力供应系统理想中心的纵坐标，cui为i动力供应类别的动力需求设备集中度；

34、比对偏移度与预设阈值，若小于预设阈值，调整动力供应系统的布局。

35、进一步的，融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度，具体表示为：

36、

37、其中，cu为所有动力供应类别的动力需求设备集中度，i为动力供应类别的种类编号，m为动力供应类别的种类总值，λi为i动力供应类别的类别权重系数，cui为i动力供应类别的动力需求设备集中度。

38、第二方面，本发明还提供一种基于动力设施的半导体生产线布局评价装置，采用如上述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，包括：

39、采集单元，用于获取半导体生产线的动力供应类别，以及对应的动力需求设备布局信息；

40、分析单元，用于分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数，给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度，融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度；

41、评价单元，用于基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局，完成基于动力设施的半导体生产线布局的评价。

42、本发明提供的一种基于动力设施的半导体生产线布局的评价方法及装置，至少包括如下有益效果：

43、(1)本发明给出的半导体生产线布局评价方案，同时考虑半导体生产线布局中的动力需求设备与动力供应系统，并分别根据各个权重因子，准确实现半导体生产线布局的评价。

44、(2)本发明给出的各个动力需求设备的需求系数，既结合了从工艺制程角度分析的理论数值，又考虑实际的动力用量，更加精准。

45、(3)本发明从动力需求角度对布局方案进行了层次化、科学的量化评估，辅助现有经验主观打分方法，从各动力系统设施建造和运维成本角度考虑系统权重设计方法。