1.一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，具体包括如下步骤：
2.如权利要求1所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，半导体生产线的动力供应类别包括电、超纯水、冷却水、排风及气体。
3.如权利要求1所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数，具体包括如下步骤：
4.如权利要求1所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度，具体包括如下步骤：
5.如权利要求4所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，每种动力供应类别的需求中心，具体表示为：
6.如权利要求4所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，结合每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数及设备数量，给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度，具体表示为：
7.如权利要求4所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局，具体包括如下步骤：
8.如权利要求7所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，对每种动力供应类别的动力供应系统布局进行偏移度分析，并调整动力供应系统的布局，具体包括如下步骤：
9.如权利要求4所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，其特征在于，融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度，具体表示为：
10.一种基于动力设施的半导体生产线布局评价装置，其特征在于，采用如权利要求1-9任一所述基于动力设施的半导体生产线布局评价方法，包括：