技术编号：37206244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及输送系统、光刻装置以及物品的制造方法。背景技术、在半导体器件、液晶显示器件等的制造工序中，使用从储存有形成有图案的多种原版(物体)的储存容器输送用于曝光处理的预定的原版的输送系统。在这样的输送系统中，控制部需要掌握储存容器内的原版的信息。、因此，在日本特开平-号中公开了使用传感器进行储存容器内的原版的有无、位置、种类的判定的方法。、然而，在使用传感器判定原板的有无、位置、种类的方法中，例如分别需要用于判定原版的有无、位置的传感器和用于判定原版的种类的传感器，装置复...
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