输送系统、光刻装置以及物品的制造方法与流程

本发明涉及输送系统、光刻装置以及物品的制造方法。

背景技术：

1、在半导体器件、液晶显示器件等的制造工序中，使用从储存有形成有图案的多种原版(物体)的储存容器输送用于曝光处理的预定的原版的输送系统。在这样的输送系统中，控制部需要掌握储存容器内的原版的信息。

2、因此，在日本特开平10-154646号中公开了使用传感器进行储存容器内的原版的有无、位置、种类的判定的方法。

3、然而，在使用传感器判定原板的有无、位置、种类的方法中，例如分别需要用于判定原版的有无、位置的传感器和用于判定原版的种类的传感器，装置复杂化。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种有利于简化装置的输送系统。

2、为了实现上述目的，作为本发明的一方面的输送系统的特征在于，该输送系统具备：存储部，存储与多个物体中的处于储存容器内的物体的位置相关的第1信息；信息生成部，基于与将所述多个物体中的处于所述储存容器外的第1物体向所述储存容器内输送的机械手的驱动相关的信息，生成与所述储存容器内的所述第1物体的位置相关的第2信息；以及信息更新部，基于所述第2信息更新所述第1信息。

3、本发明的进一步特征将根据以下对示例性实施例(参考附图)的描述变得显而易见。

技术特征：

1.一种输送系统，其特征在于，该输送系统具备：

2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的输送系统，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的输送系统，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

10.根据权利要求4所述的输送系统，其特征在于，

11.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

12.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

13.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

14.根据权利要求5所述的输送系统，其特征在于，

15.一种输送方法，其特征在于，该输送方法具有：

16.一种光刻装置，使用形成有图案的多个原版中的预定的原版在基板形成所述图案，其特征在于，该光刻装置具备：

17.根据权利要求16所述的光刻装置，其特征在于，

18.一种物品的制造方法，其特征在于，该物品的制造方法具有：

技术总结
本发明涉及输送系统、光刻装置以及物品的制造方法。具备：存储部，存储与多个物体中的处于储存容器内的物体的位置相关的第1信息；信息生成部，基于与将所述多个物体中的处于所述储存容器外的第1物体向所述储存容器内输送的机械手的驱动相关的信息，生成与所述储存容器内的所述第1物体的位置相关的第2信息；以及信息更新部，基于所述第2信息更新所述第1信息。

技术研发人员：岩泉知宏,茂木泰弘,矢泽康弘,石川勇
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4